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J-GLOBAL ID：201103003432397877

硬化されたパターンの製造方法

Inventor： 太田 喜之
Applicant, Patent owner： 住友化学株式会社
Agent (2)： 中山 亨 ,  坂元 徹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010047749
Publication number (International publication number)：2011185966
Application date： Mar. 04, 2010
Publication date： Sep. 22, 2011
Summary：

【課題】より低温で耐薬品性に優れた硬化されたパターンを製造することができる。また、この硬化されたパターンの製造方法を利用することにより、より耐熱性の低い基板等を用いても、高品質の表示装置等を得ることが可能となる。【解決手段】樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤及び溶剤を含む感光性樹脂組成物から得られたパターンを、50°C〜180°Cの条件下で、10mJ/cm2〜10000mJ/cm2露光する硬化されたパターンの製造方法において、樹脂が、炭素数2〜4の環状エーテルを有する単量体に由来する構造単位を含む樹脂である硬化されたパターンの製造方法。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

樹脂、光重合性化合物、光重合開始剤及び溶剤を含む感光性樹脂組成物から得られたパターンを、50°C〜180°Cの条件下で、10mJ/cm2〜10000mJ/cm2露光する硬化されたパターンの製造方法において、樹脂が、炭素数2〜4の環状エーテルを有する単量体に由来する構造単位を含む樹脂である硬化されたパターンの製造方法。

IPC (4)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/38 ,  C08F 220/28

FI (4)：

G03F7/033 ,  G03F7/004 505 ,  G03F7/38 501 ,  C08F220/28

F-Term (46)：

2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA02 ,  2H125AC36 ,  2H125AD02 ,  2H125AD14 ,  2H125AD24 ,  2H125AE17P ,  2H125AM22P ,  2H125AM32P ,  2H125AN11P ,  2H125AN36P ,  2H125AN39P ,  2H125AN58P ,  2H125AN59P ,  2H125AN74P ,  2H125BA02P ,  2H125BA13P ,  2H125BA33P ,  2H125CA22 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  4J100AB02R ,  4J100AB07P ,  4J100AE09P ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ09Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL03R ,  4J100AL04R ,  4J100AL05R ,  4J100AL08P ,  4J100AL09R ,  4J100AL10P ,  4J100AM48R ,  4J100BC43P ,  4J100BC53P ,  4J100BC54P ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100JA37