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J-GLOBAL ID：201103008385391816

試料搬送装置

Inventor： 朝倉 清高 ,  田 旺帝 ,  岩澤 康裕 ,  小野 享寿 ,  宮本 和夫 ,  野村 昌治
Applicant, Patent owner： 科学技術振興事業団 ,  株式会社ムサシノエンジニアリング
Agent (1)： 平山 一幸 (外1名)
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：1999237377
Publication number (International publication number)：2001033357
Patent number：3239116
Application date： Jul. 20, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Claim (excerpt)：

【請求項1】 複数個のサンプルホルダーを収納するサンプルケースと、このサンプルケースを上下方向に並進可能なサンプル保管用マニピュレータと、上記サンプルホルダーを脱着し水平方向に並進可能なサンプル交換用マニピュレータとを高真空排気可能なチャンバー内に備え、上記チャンバーにゲートバルブを介して設けたドッキング室と、このドッキング室に設けたドッキング部とを有しており、このドッキング部にて他の真空装置に脱着可能かつ移動可能とした試料搬送装置。

IPC (3)：

G01N 1/00 101 ,  B25J 21/00 ,  G01N 23/225

FI (3)：

G01N 1/00 101 C ,  B25J 21/00 ,  G01N 23/225