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J-GLOBAL ID：201103008813701892

光偏向器パッケージ

Inventor： 安田 喜昭
Applicant, Patent owner： スタンレー電気株式会社
Agent (1)： 五十嵐 省三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010050394
Publication number (International publication number)：2011186124
Application date： Mar. 08, 2010
Publication date： Sep. 22, 2011
Summary：

【課題】気密封止光偏向器パッケージを有する画像表示装置における往復走査の同期方式はパッケージ外に設けた光ビーム検出器の検出信号に基づいて行っていたために、有効光ビームへの影響が大きく、装置が大型化する。【解決手段】封止ガラス1は中央に光学透過窓11を有し、その周辺に遮光カバー12aが形成された遮光部12を有する。光偏向器2をセラミック実装基板3のキャビティ3a内に配置し、セラミック実装基板3のキャビティ3aを封止ガラス1によって気密封止してある。有機薄膜フォトセンサ4a、4bはパッケージ内部にあって、光偏向器2のマイクロミラー21から反射される走査光ビームが通過する光学透過窓11の極近傍に設けられている。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

支持体、弾性部材、該弾性部材によって前記支持体の空洞部に揺動可能に支持されたミラー及び前記弾性部材を介して前記ミラーを揺動駆動するアクチュエータを有する光偏向器と、 該光偏向器を挟んで前記ミラーの揺動空間を確保するキャビティを封止する第1、第2の封止部材と を具備し、 前記第1の封止部材が、 前記キャビティに対向した光学透過窓と、 該光学透過窓の周辺の遮光部と を有し、 前記光学透過窓の直近傍の前記遮光部の前記キャビティ側にフォトセンサを設けた光偏向器パッケージ。

IPC (3)：

G02B 26/10 ,  H04N 1/036 ,  B81B 3/00

FI (3)：

G02B26/10 F ,  H04N1/036 Z ,  B81B3/00

F-Term (43)：

2H045AB08 ,  2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB24 ,  2H045AB44 ,  2H045AB62 ,  2H045AB72 ,  2H045AB73 ,  2H045AB81 ,  2H045BA13 ,  2H045CB65 ,  2H045DA44 ,  3C081AA01 ,  3C081BA22 ,  3C081BA28 ,  3C081BA30 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA55 ,  3C081BA76 ,  3C081BA80 ,  3C081CA02 ,  3C081CA05 ,  3C081CA14 ,  3C081CA15 ,  3C081CA28 ,  3C081CA29 ,  3C081CA32 ,  3C081CA42 ,  3C081DA03 ,  3C081DA22 ,  3C081DA24 ,  3C081DA27 ,  3C081EA08 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DA01 ,  5C051DB02 ,  5C051DB08 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC01 ,  5C051DC07