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J-GLOBAL ID：201103010432414522

補償光学系、画像生成装置

Inventor： 斉藤 賢一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (6)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  下山 治 ,  永川 行光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010113423
Publication number (International publication number)：2011239884
Application date： May. 17, 2010
Publication date： Dec. 01, 2011
Summary：

【課題】コンパクトなサイズの補償光学系を提供すること。【解決手段】補償光学系は、光源から被検物に向けて照射された光の反射光を受け、被検物の波面を検出する波面センサと、波面センサに対して光学的に共役な位置に配置され、波面センサで検出された波面の検出結果に基づいて求められた波面収差を補正する波面補正器と、光源から照射され、集光された第1の中間像からの光を第1の光路で伝搬させ、伝搬した光を波面補正器に入射させ、波面補正器で反射された光を第1の光路とは異なる第2の光路で伝搬させ、第1の中間像とは異なる第2の中間像として集光させる共通光学系と、を有する。共通光学系の入射瞳の位置に波面補正器が配置され、入射瞳の位置を基準とした共通光学系の像面に第1の中間像と第2の中間像とが集光される。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

光源から被検物に向けて照射された光の反射光を受け、前記被検物の波面を検出する波面センサと、 前記波面センサに対して光学的に共役な位置に配置され、前記波面センサで検出された前記波面の検出結果に基づいて求められた波面収差を補正する反射型波面補正手段と、 前記光源から照射され、集光された第1の中間像からの光を第1の光路で伝搬させ、前記伝搬した光を前記波面補正手段に入射させ、前記波面補正手段で反射された光を前記第1の光路とは異なる第2の光路で伝搬させ、前記第1の中間像とは異なる第2の中間像として集光させる共通光学系と、を有し、 前記共通光学系の入射瞳の位置に前記波面補正手段が配置され、前記入射瞳を持つ前記共通光学系の像面に前記第1の中間像と前記第2の中間像とが集光されることを特徴とする補償光学系。

IPC (4)：

A61B 3/10 ,  G02B 26/08 ,  G02B 26/06 ,  A61B 3/14

FI (5)：

A61B3/10 N ,  G02B26/08 J ,  G02B26/06 ,  A61B3/10 R ,  A61B3/14 E

F-Term (9)：

2H141MA27 ,  2H141MB51 ,  2H141ME04 ,  2H141ME06 ,  2H141ME09 ,  2H141ME29 ,  2H141MF11 ,  2H141MF28 ,  2H141MG09