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J-GLOBAL ID：201103020251704001

応力測定装置および応力測定方法およびプログラム

Inventor： 廣沢 一郎 ,  佐藤 真直 ,  土屋 新 ,  阿川 智 ,  大鹿 高歳
Applicant, Patent owner： 財団法人高輝度光科学研究センター ,  三菱マテリアル株式会社
Agent (7)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  江口 昭彦 ,  杉浦 秀幸 ,  村山 靖彦 ,  柳井 則子
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2002300355
Publication number (International publication number)：2004132936
Patent number：4043910
Application date： Oct. 15, 2002
Publication date： Apr. 30, 2004
Claim (excerpt)：

【請求項1】所定エネルギーのX線を被測定物に照射する入射装置と、前記X線のうち前記被測定物にて散乱される散乱X線の強度を検出する検出装置と、前記X線の入射方向と前記検出装置により検出される前記散乱X線の散乱方向とのなす角である散乱角を変更可能な散乱角変更装置と、前記入射方向および前記散乱方向を含む散乱角走査平面内において前記散乱角の補角の2等分線に沿った方向に伸びる散乱ベクトルと前記被測定物の表面に対する法線方向とのなす角であるψ角を変更可能なψ角変更装置と、 前記ψ角変更装置により前記ψ角を変更させる毎に、前記散乱角変更装置により前記散乱角を変更させると共に前記検出装置により前記散乱X線の強度を測定させ、前記散乱角の変化に応じた前記散乱X線の散乱強度分布のψ角依存性のデータを取得し、該データに基づき、前記被測定物に発生した応力の前記表面に平行な応力成分を検出する制御装置とを備える応力測定装置であって、 前記表面と前記入射方向とのなす角である入射角および前記表面と前記散乱方向とのなす角である出射角に係る第1の角および第2の角と、前記X線の波長と、前記被測定物のX線吸収係数とに基づいて算出可能なX線侵入深さに、所定値を設定するX線侵入深さ設定手段と、 前記X線侵入深さ設定手段により設定される前記X線侵入深さの値を固定した状態で、前記散乱角および前記ψ角を各所望の値に設定するための、前記第1の角および前記第2の角を設定するパラメータ設定手段と、 前記パラメータ設定手段により設定される前記第1の角および前記第2の角に応じて、前記散乱角変更装置を駆動制御することにより前記散乱角を所望の値に設定する散乱角駆動制御手段および前記ψ角変更装置を駆動制御することにより前記ψ角を所望の値に設定するψ角駆動制御手段と を備えることを特徴とする応力測定装置。

IPC (1)：

G01L 1/00 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01L 1/00 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

• X線応力測定方法及びX線応力測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-155702   Applicant：財団法人新産業創造研究機構, 川崎重工業株式会社
• 特開昭51-049081
  
• X線応力測定方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-029876   Applicant：三菱重工業株式会社
• セラミツクス部材の残留応力測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-246124   Applicant：株式会社東芝
• X線応力測定方法および測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-081738   Applicant：キヤノン株式会社
• X線による応力測定方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-064932   Applicant：株式会社関西新技術研究所

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• φ角変化によるX線応力測定法について