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J-GLOBAL ID:201103022633801581

外観検査装置、外観検査用識別器の生成装置及び外観検査用識別器生成方法ならびに外観検査用識別器生成用コンピュータプログラム

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  伊坪 公一 ,  河野 努
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010081308
Publication number (International publication number):2011214903
Application date: Mar. 31, 2010
Publication date: Oct. 27, 2011
Summary:
【課題】検査対象物の不良品に生じた欠陥を写した画像が少数しか得られない場合でも、検査対象物が良品か否かを識別する識別器を十分に学習させることが可能な外観検査用識別器生成装置を提供する。【解決手段】外観検査用識別器生成装置は、検査対象物の表面に生じる欠陥の像を擬似的に表した複数の擬似欠陥画像について、擬似欠陥画像上の欠陥の像が検査対象物の良品または不良品の何れに対応するかを表す良否判定情報を取得する良否判定情報取得部(15)と、複数の擬似欠陥画像と対応する良否判定情報から検査対象物の良品と不良品とを識別する境界を決定する境界決定部(12)と、欠陥の像についての特徴量とその境界に従って決定されるその特徴量に対する検査対象物の良否判定結果を表す値との組である学習サンプルを複数生成するサンプル生成部(16)と、その複数の学習サンプルを用いて外観検査用識別器を学習する識別器学習部(17)とを有する。【選択図】図2
Claim (excerpt):
検査対象物の表面に生じる欠陥の像を擬似的に表した擬似欠陥画像を複数生成する擬似欠陥画像生成部(14)と、 前記複数の擬似欠陥画像のそれぞれについて、当該擬似欠陥画像上の欠陥の像が前記検査対象物の良品に対応するか、または前記検査対象物の不良品に対応するかを表す良否判定値を含む良否判定情報を取得する良否判定情報取得部(15)と、 前記複数の擬似欠陥画像のそれぞれと、前記擬似欠陥画像のそれぞれに対応する前記良否判定情報から、前記検査対象物の良品と前記検査対象物の不良品とを識別する境界を決定する境界決定部(12)と、 前記欠陥の像についての特徴量と、前記境界に従って決定される当該特徴量に対する前記検査対象物の良否判定結果を表す値との組を学習サンプルとして、複数生成するサンプル生成部(16)と、 前記検査対象物を撮影した検査画像に基づいて前記検査対象物が良品か否かを識別する外観検査用識別器を、前記複数の学習サンプルのそれぞれに含まれる前記特徴量を当該外観検査用識別器に入力することにより、当該特徴量に対応する前記良否判定結果を表す値を出力するように学習する識別器学習部(17)と、 を有することを特徴とする外観検査用識別器生成装置。
IPC (1):
G01N 21/88
FI (1):
G01N21/88 J
F-Term (8):
2G051AB02 ,  2G051AC11 ,  2G051AC21 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051EA14 ,  2G051EB02 ,  2G051ED01
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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