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J-GLOBAL ID:201103027353687815
電気化学センサー用電極の製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
須山 佐一
, 川原 行雄
, 山下 聡
, 須山 英明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2009230917
Publication number (International publication number):2011080773
Application date: Oct. 02, 2009
Publication date: Apr. 21, 2011
Summary:
【課題】従来の検出感度を維持しつつ、検出対象物の検出を簡便、かつ正確に行うことができる電気化学的検出装置に使用する電気化学センサー用電極を提供する。【解決手段】絶縁膜に円筒状かつ真直であり、均一な孔径の孔道を形成してろ過膜を、トラックエッチング法、フォトリソグラフィ法、パンチング法、レプリカ法及びレーザー法の少なくとも一つを用いて形成する。次いで、前記ろ過膜の表面にスパッタリング法、蒸着法、メッキ法及び印刷法の少なくとも一つを用いて導電膜を形成する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
絶縁膜に円筒状かつ真直であり、均一な孔径の孔道を形成してろ過膜を形成する工程と、
前記ろ過膜の表面に導電膜を形成する工程と、
を具えることを特徴とする、電気化学センサー用電極の製造方法。
IPC (2):
FI (5):
G01N27/46 301Z
, G01N27/46 Z
, G01N27/46 F
, G01N27/30 B
, G01N27/30 Z
Patent cited by the Patent: