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J-GLOBAL ID：201103028712029752
カーボンナノチューブ触媒の選択付与方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤村 元彦
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2006511610
Patent number：4672653
Application date： Mar. 28, 2005
Claim (excerpt)：
【請求項1】 導電性材料からなる基板の基板面の少なくとも1つの所定位置にカーボンナノチューブ成長用の触媒を付与する方法であって、
前記所定位置の各々に対応する位置で前記基板面に接する孔部を備える被膜層を前記基板上に準備する準備工程と、
前記基板を基板面に略垂直な軸周りに回転しつつ導電性の材料粒子を前記被膜層の上方から斜め照射することにより、前記孔部が接する基板面部分に錐状堆積物を堆積すると共に、前記孔部の開口を閉塞するように伸長するひさし状堆積層を堆積する堆積工程と、
前記ひさし状堆積層の伸長に応じて、前記開口の大きさを測定する測定工程と、
前記開口の大きさが所定の大きさと測定された場合に、前記開口を通して前記触媒の材料粒子を照射することにより前記触媒を前記錐状堆積物の先端に付与する触媒付与工程と、を含むことを特徴とする触媒付与方法。
IPC (3)：
B01J 37/34 ( 200 6.01)
, C01B 31/02 ( 200 6.01)
, H01J 1/304 ( 200 6.01)
B01J 37/34 ZNM
, C01B 31/02 101 F
, H01J 1/30 F
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (1)
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