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J-GLOBAL ID：201103029753994051

電子デバイスの絶縁性薄膜の信頼性評価法

Inventor： 鷹野 致和 ,  星野 勉 ,  大矢 博史
Applicant, Patent owner： タマティーエルオー株式会社 ,  学校法人明星学苑
Agent (2)： 柳瀬 睦肇 ,  渡部 温
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009200603
Publication number (International publication number)：2011054674
Application date： Aug. 31, 2009
Publication date： Mar. 17, 2011
Summary：

【課題】電子デバイスの絶縁性薄膜の信頼性評価を行う方法を提供する。【解決手段】本発明の一態様は、MLCC2を用意する工程と、前記第1の導電体が抵抗素子4の一方端に電気的に接続され、前記抵抗素子の他方端が第1の直流電源5に電気的に接続され、前記第1の直流電源が前記第2の導電体に電気的に接続され、前記抵抗素子の一方端及び他方端それぞれが増幅器7の入力側に電気的に接続され、前記増幅器の出力側が周波数分析器8に電気的に接続された接続状態で、前記増幅器の出力を前記周波数分析器によって分析することで得られるPool Frenkel電流に基づく1/f特性を示す範囲の電流ゆらぎの大きさを測定する工程と、前記工程で測定された1/f電流ゆらぎの大きさが大きい場合は、前記絶縁性薄膜の質が悪いと判定し、前記工程で測定された1/f電流ゆらぎの大きさが小さい場合は、前記絶縁性薄膜の質が良いと判定する工程とを具備する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

絶縁性薄膜の一方面に形成された第1の導電体と、前記絶縁性薄膜の他方面に形成された第2の導電体を有する電子デバイスを用意する工程と、 前記第1の導電体が抵抗素子の一方端に電気的に接続され、前記抵抗素子の他方端が第1の直流電源に電気的に接続され、前記第1の直流電源が前記第2の導電体に電気的に接続され、前記抵抗素子の一方端及び他方端それぞれが増幅器の入力側に電気的に接続され、前記増幅器の出力側が周波数分析器に電気的に接続された接続状態で、前記増幅器の出力を前記周波数分析器によって分析することで得られるPool Frenkel電流又は不完全な絶縁性薄膜に起因する漏えい電流に基づく1/fα特性を示す範囲の電流ゆらぎの大きさを測定する工程と、 前記工程で測定された1/fα特性を示す範囲の電流ゆらぎの大きさが大きい場合は、前記絶縁性薄膜の質が悪いと判定し、前記工程で測定された1/fα特性を示す範囲の電流ゆらぎの大きさが小さい場合は、前記絶縁性薄膜の質が良いと判定する工程と、 を具備することを特徴とする電子デバイスの絶縁性薄膜の信頼性評価法。 但し、0.5≦α≦1.5

IPC (2)：

H01L 21/66 ,  H01G 13/00

FI (2)：

H01L21/66 Q ,  H01G13/00 361D

F-Term (10)：

4M106AA12 ,  4M106AA13 ,  4M106BA14 ,  4M106CA09 ,  4M106CA27 ,  4M106CA56 ,  4M106DH04 ,  4M106DJ20 ,  5E082AB03 ,  5E082MM35