Pat

J-GLOBAL ID：201103031202009642

白色発光Si:SiO2膜およびそれを具備した白色発光素子

Inventor： 花泉 修
Applicant, Patent owner： 独立行政法人科学技術振興機構
Agent (1)： 西澤 利夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2002240811
Publication number (International publication number)：2003277740
Patent number：3830874
Application date： Aug. 21, 2002
Publication date： Oct. 02, 2003
Claim (excerpt)：

【請求項1】 基板上にスパッタリング成膜により形成された、SiO2中にSiが膜全体に対する体積比率(=〔ターゲットの面積比〕×〔SiO2ターゲットの堆積速度に対するSiターゲットの堆積速度の割合〕)で6.0%以下の割合で含有されたSi:SiO2膜であり、白色発光することを特徴とする白色発光Si:SiO2膜。

IPC (4)：

C09K 11/00 ( 200 6.01) ,  C09K 11/08 ( 200 6.01) ,  C09K 11/59 ( 200 6.01) ,  H01L 33/00 ( 200 6.01)

FI (4)：

C09K 11/00 A ,  C09K 11/08 A ,  C09K 11/59 ,  H01L 33/00 A