白色発光Si:SiO2膜およびそれを具備した白色発光素子

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西澤利夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2002240811
Publication number (International publication number)：2003277740
Patent number：3830874
Application date： Aug. 21, 2002
Publication date： Oct. 02, 2003
Claim (excerpt)：

【請求項1】基板上にスパッタリング成膜により形成された、SiO2中にSiが膜全体に対する体積比率(=〔ターゲットの面積比〕×〔SiO2ターゲットの堆積速度に対するSiターゲットの堆積速度の割合〕)で6.0%以下の割合で含有されたSi:SiO2膜であり、白色発光することを特徴とする白色発光Si:SiO2膜。

IPC (4)：

C09K 11/00 ( 200 6.01) , C09K 11/08 ( 200 6.01) , C09K 11/59 ( 200 6.01) , H01L 33/00 ( 200 6.01)

FI (4)：

C09K 11/00 A , C09K 11/08 A , C09K 11/59 , H01L 33/00 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

発光デバイスおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-228148 Applicant：日新電機株式会社
発光型表示装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-280369 Applicant：カシオ計算機株式会社
シリコン系発光材料の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-235785 Applicant：株式会社東芝

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