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J-GLOBAL ID：201103031264823257

レーザー加工装置

Inventor：
遠藤 智裕

About 遠藤 智裕


Applicant, Patent owner：
株式会社ディスコ

About 株式会社ディスコ


Agent (2)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009201564
Publication number (International publication number)：2011054715
Application date： Sep. 01, 2009
Publication date： Mar. 17, 2011
Summary：
【課題】環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着されるウエハの中心をチャックテーブルの中心と一致させて載置することができるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】ウエハの大きさと同一または僅かに小さいウエハ保持領域と保持領域の外側周囲にレーザ光線緩衝溝が形成されているチャックテーブルとレーザ光線照射手段とを具備するレーザ加工装置であって、環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着されたウエハと環状のフレームの中心との変位量を検出する変位量検出機構と、ウエハと環状のフレームの中心とのズレに基づいて加工送り手段および割り出し送り手段とウエハ搬送手段を制御する制御手段とを具備し、制御手段は搬送されるウエハの中心がチャックテーブルの中心位置と一致するようにウエハ着脱位置に位置付けられているチャックテーブルとウエハ搬送手段によって搬送されるウエハの搬送位置とを相対的に変位せしめる。【選択図】図11
Claim (excerpt)：
ウエーハの大きさと同一または僅かに小さいウエーハ保持領域と該ウエーハ保持領域の外側周囲にレーザー光線緩衝溝が形成されているチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハにレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該チャックテーブルをウエーハ着脱位置と該レーザー光線照射手段による加工領域との間を加工送り方向(X軸方向)に移動せしめる加工送り手段と、X軸方向と直交する割り出し送り方向(Y軸方向)に移動せしめる割り出し送り手段と、環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着されたウエーハを収容しカセットテーブル上に載置されるカセットと、該カセットに収容された環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着されたウエーハを搬出するウエーハ搬出手段と、該ウエーハ搬出手段によって搬出された環状のフレームの中心位置合わせを実施するための位置合わせ手段と、該位置合わせ手段に搬出された環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着されたウエーハをウエーハ着脱位置に位置付けられたチャックテーブルに搬送するウエーハ搬送手段と、を具備するレーザー加工装置において、 該位置合わせ手段において中心位置合わせされた環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着されたウエーハの中心と環状のフレームの中心との変位量を検出する変位量検出機構と、 該変位量検出機構によって検出されたウエーハの中心と環状のフレームの中心との変位量に基づいて該加工送り手段および該割り出し送り手段と該ウエーハ搬送手段とを制御する制御手段と、を具備し、 該制御手段は、該ウエーハ搬送手段によって搬送される環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着されたウエーハの中心が該チャックテーブルの中心位置と一致するように該ウエーハ着脱位置に位置付けられている該チャックテーブルと該ウエーハ搬送手段によって搬送される環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着されたウエーハの搬送位置とを相対的に変位せしめる、 ことを特徴とするレーザー加工装置。
IPC (3)：
H01L 21/301 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/02
FI (4)：
H01L21/78 B ,  B23K26/00 M ,  H01L21/78 N ,  B23K26/02 A
F-Term (4)：
4E068AD00 ,  4E068CA09 ,  4E068CC02 ,  4E068DA10
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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