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J-GLOBAL ID:201103032621123923

複屈折媒体の積層構造解析方法および構造解析装置,およびそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 穂坂 和雄
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2003297982
Publication number (International publication number):2005069785
Patent number:3760242
Application date: Aug. 21, 2003
Publication date: Mar. 17, 2005
Claim (excerpt):
【請求項1】 入力装置と出力装置とCPUとメモリを備え,コンピュータ処理により,積層された複屈折媒体を解析する積層構造解析方法において, 送信電磁波の電界と複屈折積層媒体の電磁波の伝搬に関するパラメータと複屈折媒体を伝搬する電磁波が反射する層における電磁波の散乱に関するパラメータと電磁波の偏向面の複屈折媒体の主軸に対する角度θをパラメータとして保持し, 入力した電磁波の主軸に基づく座標成分について複屈折媒体における伝搬特性および反射面における散乱特性に基づいて複屈折媒体を伝搬し,反射面で反射し,複屈折媒体を伝搬してもどる電磁波を求め,前記角度θおよび反射面の深さをパラメータとして変更し,前記角度θおよび反射面の深さおよび受信電磁波の関係を出力することを特徴とする積層構造解析方法。
IPC (3):
G01S 13/88 ( 200 6.01) ,  G01S 7/40 ( 200 6.01) ,  G01S 13/95 ( 200 6.01)
FI (3):
G01S 13/88 Z ,  G01S 7/40 D ,  G01S 13/95

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