荷電粒子線装置及び荷電粒子線画像を安定に取得する方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：井上学 , 戸田裕二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009158370
Publication number (International publication number)：2011014414
Application date： Jul. 03, 2009
Publication date： Jan. 20, 2011
Summary：

【課題】被検査試料の外周部と中心部とで帯電特性が異なることから、被検査試料外周部と中心部とで同等の検査感度を得ることができない。【解決手段】被検査試料を載置する試料ホルダの外周部に試料カバーを設け、被検査試料の帯電特性にあわせて試料カバーの帯電特性を変更する。これにより、試料外周部と中心部とで均質な帯電状態を形成でき、試料外周部の検査・観察が従来よりも高感度に実現可能となる。【選択図】図5

Claim (excerpt)：

一次荷電粒子線を試料に照射して、当該照射により発生する二次荷電粒子を検出する機能を備えた荷電粒子カラムと、前記荷電粒子カラムの下部に配置された真空試料室と、前記試料を載置する試料ホルダを格納し、当該試料の載置された試料ホルダを前記真空試料室へ搬出するための第1の試料交換室と第2の試料交換室とを有し、前記第1の試料交換室は、第1の試料ホルダを格納し、前記第2の試料交換室は、第2の試料ホルダを格納し、前記第1の試料ホルダおよび第2の試料ホルダは、試料載置面の周囲に形成された試料カバーを有し、当該試料カバーの材質は、前記第1の試料ホルダと第2の試料ホルダとで異なることを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (4)：

H01J 37/20 , G01N 23/225 , H01J 37/28 , H01L 21/66

FI (5)：

H01J37/20 A , G01N23/225 , H01J37/28 B , H01J37/20 H , H01L21/66 J

F-Term (31)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001FA06 , 2G001GA06 , 2G001GA09 , 2G001GA11 , 2G001HA05 , 2G001HA10 , 2G001JA13 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA07 , 2G001PA11 , 2G001QA01 , 2G001RA10 , 2G001SA10 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA38 , 4M106DB05 , 4M106DJ18 , 4M106DJ20 , 5C001AA01 , 5C001AA02 , 5C001BB07 , 5C001CC04 , 5C033UU03 , 5C033UU06 , 5C033UU08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

荷電粒子線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-156357 Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ
荷電粒子線パターン測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-081456 Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ
電子線描画装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-354137 Applicant：株式会社日立製作所

Cited by examiner (3)

荷電粒子線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2007-156357 Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ
荷電粒子線パターン測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-081456 Applicant：株式会社日立ハイテクノロジーズ
電子線描画装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-354137 Applicant：株式会社日立製作所

Return to Previous Page