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J-GLOBAL ID：201103033706700667
等しい優先性で両ブロックを湿潤にするために、制約を受ける上部界面を有するブロック共重合体膜の熱アニーリング
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
野村 泰久
, 大菅 義之
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2011500852
Publication number (International publication number)：2011515537
Application date： Mar. 03, 2009
Publication date： May. 19, 2011
Summary：
自己組織化ブロック共重合体を使用して、サブリソグラフィーでナノスケールのマイクロ構造を作製するための方法、ならびに、これらの方法から形成される膜およびデバイスが提供される。
Claim (excerpt)：
基板上にナノ構造のポリマー材料を形成する方法であって、
前記基板上の材料層内のトレンチ内に円筒相ブロック共重合体材料を形成するステップであって、前記トレンチは、中性湿潤底面、および前記ブロック共重合体の少数ブロックに対して優先的に湿潤である、対立する複数の側壁および複数の終端を有する、ステップと、
あらゆるブロックに対して非優先的である溶媒蒸気中で、かつ、前記ブロック共重合体材料のガラス転移温度(Tg)以上の温度で、前記ブロック共重合体材料をアニーリングするステップと、
を含み、
前記ブロック共重合体材料は、前記ブロック共重合体の第二のブロックのマトリクス内で、前記ブロック共重合体の前記第一のブロックの複数の円筒状ドメインへと自己組織化し、前記自己組織化ブロック共重合体材料は厚さを有し、前記複数の円筒状ポリマードメインは、前記トレンチ底面に対して垂直に配向され、かつ、前記トレンチの前記長さに対して、単一のアレイにおいて前記自己組織化ブロック共重合体材料の前記厚さを介して伸長する、
ことを特徴とする方法。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (3)：
4F071AA75
, 4F071AG28
, 4F071AH19
