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J-GLOBAL ID：201103035965839447

放電用電極、及び該放電用電極の製造方法

Inventor： 虻川 志向 ,  高畠 剛 ,  難波 吉雄 ,  谷 和美
Applicant, Patent owner： トーカロ株式会社
Agent (4)： 植木 久一 ,  菅河 忠志 ,  伊藤 浩彰 ,  植木 久彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009139684
Publication number (International publication number)：2010287404
Application date： Jun. 10, 2009
Publication date： Dec. 24, 2010
Summary：

【課題】大気圧プラズマ放電処理の際の、電極表面の誘電体層の劣化や不均一放電、及び回路全体のインピーダンスが高くなることを防ぐことのできる放電用電極を提供すること。【解決手段】本発明の放電用電極は、対向する二つの電極を備え、これら電極には、対向側表面に誘電体層が形成され、前記各誘電体層の一方が体積抵抗率1011Ωcm以下であることを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

対向する二つの電極を備え、 これら電極には、対向側表面に誘電体層が形成され、 前記各誘電体層の一方が体積抵抗率1011Ωcm以下であることを特徴とする放電用電極。

IPC (3)：

H05H 1/24 ,  C23C 4/10 ,  C23C 4/18

FI (3)：

H05H1/24 ,  C23C4/10 ,  C23C4/18

F-Term (18)：

4K029AA04 ,  4K029BA01 ,  4K029BA03 ,  4K029BA04 ,  4K029BA08 ,  4K029BA09 ,  4K029BA13 ,  4K029BA21 ,  4K029BA34 ,  4K029BC03 ,  4K029CA01 ,  4K031AA06 ,  4K031AB02 ,  4K031CB42 ,  4K031CB43 ,  4K031CB45 ,  4K031DA04 ,  4K031FA07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 反射防止フィルム及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-146407   Applicant：積水化学工業株式会社
• 特開平2-050967
  
• 積層体の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-005715   Applicant：積水化学工業株式会社