欠陥検査システム、並びに、それに用いる、欠陥検査用撮影装置、欠陥検査用画像処理装置、欠陥検査用画像処理プログラム、記録媒体、および欠陥検査用画像処理方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：長谷川和哉 , 鶴田健太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009251107
Publication number (International publication number)：2011095171
Application date： Oct. 30, 2009
Publication date： May. 12, 2011
Summary：

【課題】生じる光線経路の変化が異なる様々な種類の欠陥を一度に十分な精度で検出できる欠陥検査用画像処理装置等を実現する。【解決手段】欠陥検査用画像処理装置(画像解析装置)6は、移動中の成形シートをエリアカメラ5で時間的に連続して撮影した画像データを処理するものであり、画像データ上の異なる複数の位置について、同一位置のラインデータを異なる画像データからそれぞれ抽出するデータ抽出部11と、複数のラインデータを画像データ上の位置ごとに時系列に並べて複数のライン合成画像データを生成するデータ格納部13と、複数のライン合成画像データに微分オペレータ演算を行って複数の強調画像データを生成する変化量算出部15と、複数の強調画像データから成形シートの同一箇所を示すものを抽出する同一箇所判定抽出部16と、抽出された強調画像データの輝度値を画素ごとに積算して欠陥検査用画像データを生成する積算部17とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

被検査物と撮影部とが相対的に移動させられている状態で、撮影部によって時間的に連続して撮影された上記被検査物の2次元画像の画像データを処理し、それによって上記被検査物の欠陥を検査するための欠陥検査用画像データを生成する欠陥検査用画像処理装置であって、複数の異なる画像データの中から画像データ上における位置が同一である1ラインのラインデータをそれぞれ抽出する同一ライン抽出手段と、上記同一ライン抽出手段によって抽出されたラインデータを時系列に並べて複数ラインのライン合成画像データを生成するライン合成手段とを備え、上記同一ライン抽出手段は、上記画像データ上における異なる複数の位置について上記ラインデータをそれぞれ抽出するものであり、上記ライン合成手段は、上記同一ライン抽出手段によって抽出されたラインデータを、上記画像データ上における位置ごとに時系列に並べて、異なる複数のライン合成画像データを生成するものであり、さらに、上記複数のライン合成画像データに対してそれぞれ、輝度変化を強調するオペレータを用いた演算を行い、1ラインまたは複数ラインの複数の強調画像データを生成するオペレータ演算手段と、上記被検査物の同一箇所を示す上記複数の強調画像データの輝度値を画素ごとに積算して欠陥検査用画像データを生成する積算手段と、を備えることを特徴とする欠陥検査用画像処理装置。

IPC (1)：

G01N 21/892

FI (1)：

G01N21/892 A

F-Term (15)：

2G051AA41 , 2G051AB02 , 2G051BB07 , 2G051CA04 , 2G051CB02 , 2G051DA06 , 2G051EA08 , 2G051EA09 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EA20 , 2G051ED07 , 2G051ED14 , 2G051FA01

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