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J-GLOBAL ID：201103042181821408

反射防止膜、太陽電池セル、反射防止膜の製造方法、および太陽電池セルの製造方法

Inventor： 佐々木 和明 ,  吉田 篤史 ,  高本 達也 ,  肥後 昭男 ,  杉山 正和 ,  久保田 雅則 ,  中野 義昭 ,  フランシェスコ パストレーリー ,  渡辺 健太郎
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社 ,  国立大学法人 東京大学
Agent (1)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010270658
Publication number (International publication number)：2011119740
Application date： Dec. 03, 2010
Publication date： Jun. 16, 2011
Summary：

【課題】広帯域および広入射角範囲に対して低い反射率を実現することができる多層の反射防止膜を提供すること。【解決手段】光電変換素子30の受光面上に積層される複数の誘電体層(11、12)からなる反射防止膜10であって、該複数の誘電体層のうちの少なくとも1層において、長手方向の幅が該光電変換素子により電気に変換される光の最大波長以下である微細構造物(柱状体15)が、該光が入射する領域に亘って形成されている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光電変換素子の受光面上に積層される複数の誘電体層からなる反射防止膜であって、 該複数の誘電体層のうちの少なくとも1層において、長手方向の幅が該光電変換素子により電気に変換される光の最大波長以下である微細構造物が、該光が入射する領域に亘って形成されていることを特徴とする反射防止膜。

IPC (1)：

H01L 31/04

FI (2)：

H01L31/04 F ,  H01L31/04 E

F-Term (8)：

5F151AA02 ,  5F151AA08 ,  5F151DA16 ,  5F151DA19 ,  5F151GA04 ,  5F151HA03 ,  5F151HA06 ,  5F151HA07