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J-GLOBAL ID：201103043112481103

薄膜品質管理のための方法及び装置

Inventor： フィナロヴ、 モシェ
Applicant, Patent owner： ブライトビュー システムズ リミテッド
Agent (3)： 三好 秀和 ,  伊藤 正和 ,  原 裕子
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2011518055
Publication number (International publication number)：2011528188
Application date： Jul. 09, 2009
Publication date： Nov. 10, 2011
Summary：

光発電薄膜品質管理が得られる。薄膜はサポートによって支持され、膜の一セクションは多色照明光源による照明を受ける。光源は薄膜上に連続照明ラインを形成する。照明ライン上に配置された離散したサンプルポイントの像が、2次元光スイッチ上に結ばれる。薄膜上の上記サンプルポイントの座標と、2次元光スイッチ上のそれらの座標との間の索引ルックアップテーブルが生成される。サンプルポイントによって反射された照明のスペクトル成分が決定される。品質管理に適用可能な光発電薄膜パラメータが、光発電薄膜によって反射又は透過された照明のスペクトル成分から導出される。

Claim (excerpt)：

光発電薄膜品質管理の方法であって、 多色照明光源によって光発電薄膜の一セクションを照明して前記薄膜上に連続照明ラインを形成するステップと、 前記照明ライン上に配置された複数の離散したサンプルポイントを指定して前記ポイントの像が光スイッチ上に結ばれるようにするステップと、 前記薄膜上の前記サンプルポイントの座標と前記光スイッチ上の前記サンプルポイントの座標との間の索引を生成するステップと、 前記ポイントのそれぞれを、前記ポイント間で光学的な切り替えを行い単数検出器によって逐次的にサンプリングするステップと、 前記サンプルポイントによって反射された照明のスペクトル成分を決定するステップと、 薄膜屈折率(n)、薄膜吸光率(k)、薄膜表面粗度、光ルミネセンスのスペクトル及び強度からなる光発電薄膜パラメータ群の少なくとも1つを前記スペクトル成分から導出するステップと を含む方法。

IPC (1)：

H01L 31/04

FI (1)：

H01L31/04 K

F-Term (3)：

5F151BA11 ,  5F151KA09 ,  5F151KA10