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J-GLOBAL ID：201103044051373880

平面度測定装置

Inventor： 佐藤 伸彦 ,  三宅 康博 ,  牧村 俊助
Applicant, Patent owner： 大学共同利用機関法人 高エネルギー加速器研究機構
Agent (5)： 天田 昌行 ,  西山 善章 ,  水野 浩司 ,  青木 宏義 ,  岡田 喜雅
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2006330245
Publication number (International publication number)：2008145156
Patent number：4336781
Application date： Dec. 07, 2006
Publication date： Jun. 26, 2008
Claim (excerpt)：

【請求項1】 架台と、この架台に対して円盤面に対する垂線を水平方向に向けて取り付けられた主円盤と、前記主円盤の測定対象物側の平面中心から突出した支持軸と、アーム長手方向に形成された径方向ガイド穴に前記支持軸を貫通させて前記主円盤の円盤面に真空吸着により着脱自在に取り付けられる吸着アームと、前記吸着アームを貫通した前記支持軸に対して回転自在に支持されると共に前記吸着アームに対して径方向への相対移動が可能でかつ回転が規制された状態で取り付けられる測定半径設定板と、前記吸着アームに取り付けられた測定ヘッドと、を具備し 前記吸着アームを前記主円盤の径方向に移動させて径方向測定位置を調整する一方、前記吸着アームを前記支持軸を中心に回転させて回転方向測定位置を調整することを特徴とする平面度測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/30 ( 200 6.01) ,  G01B 5/28 ( 200 6.01)

FI (2)：

G01B 11/30 101 ,  G01B 5/28 101