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J-GLOBAL ID：201103044545555345
荷電粒子線装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
作田 康夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：1993173952
Publication number (International publication number)：1995027548
Patent number：3265724
Application date： Jul. 14, 1993
Publication date： Jan. 27, 1995
Claim (excerpt)：
【請求項1】荷電粒子銃から放出された荷電粒子線を加速する手段と、その加速された荷電粒子線をコンタクトホールパターンが形成された半導体ウェーハ上で収束させる手段と、その収束された荷電粒子線を前記半導体ウェーハのコンタクトホールパターンが存在する領域上で走査する手段と、走査することにより前記半導体ウェーハ上から発生する検出信号を検出するための検出器と、その検出器の信号を像として表示する表示手段を備えた荷電粒子線装置において、前記表示手段の像表示面に一点を指定する手段と、その表示手段に表示された前記コンタクトホールパターンの像の中心に前記一点を前記手段により指定した場合、前記コンタクトホールパターンの像を前記一点を中心として極座標展開する手段と、その極座標展開画像上で前記ホールパターンのエッジを任意の測定点数分等間隔に検出する手段と、その手段により検出された前記測定点数分のエッジの情報をもとに前記ホールパターンの各角度方向の測定半径値、あるいは測定直径値を算出する演算手段とを備えたことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (1)：
FI (1)：
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