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J-GLOBAL ID：201103047231360808

ナノスケール周期構造テンプレートとこれを用いたクラスター構造体及びクラスター埋め込み構造体

Inventor： 三木 一司 ,  北島 正弘 ,  成島 哲也
Applicant, Patent owner： 独立行政法人物質・材料研究機構
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2002295443
Publication number (International publication number)：2004134470
Patent number：4032114
Application date： Oct. 08, 2002
Publication date： Apr. 30, 2004
Claim (excerpt)：

【請求項1】表面に周期的に配列した単位胞を有する周期構造基板よりなるナノスケール周期構造テンプレートであって、前記周期構造基板はSi(111)-7×7表面構造を有し、前記単位胞が未酸化状態の正常積層サブユニットと酸化状態の積層欠陥サブユニットとからなることを特徴とするナノスケール周期構造テンプレート。

IPC (2)：

H01L 29/06 ( 200 6.01) ,  B82B 3/00 ( 200 6.01)

FI (2)：

H01L 29/06 601 D ,  B82B 3/00 ZNM

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開平4-370973
  

Cited by examiner (1)

• 特開平4-370973