Pat
J-GLOBAL ID：201103049084994947
集束イオンビーム装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (2)：
井島 藤治
, 鮫島 信重
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009216413
Publication number (International publication number)：2011065904
Application date： Sep. 18, 2009
Publication date： Mar. 31, 2011
Summary：
【課題】本発明は集束イオンビーム装置に関し、中性粒子を除去してイオン照射が可能なようにした集束イオンビーム装置に関する。【解決手段】デフレクタを4段構成とし、上2段によりイオンビームをある距離だけ平行移動をさせ、下2段により再びイオンビームを上2段により元の軌道に戻すように平行移動をさせる各電圧成分をそれぞれ各段の電極に重畳させ、印加できる機能を持つデフレクタ電源と、及び上の2段電極と下の2段電極の間に、前記中性粒子を遮断する遮蔽板11を設け、前記デフレクタの上2段と下2段には本来の2段偏向器の役割を実行させるためのデフレクタ電圧を印加する場合に、上2段の内の何れか1段と、下2段の内の何れか1段にのみ本来の2段偏向器を実現させるためのデフレクタ電圧を印加することを特徴とする集束イオンビーム装置。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
正の電位である加速電圧が印加されているイオン源と、該イオン源からイオンビームを引き出すために加速電圧より低い電圧が印加されている引出電極と、引き出されたイオンビームの開き角を制御する開き角制御レンズと、該開き角制御レンズと共にビーム電流を制限するビーム電流制限絞りと、ビームを試料上で走査・偏向するために使用されるデフレクタと、ビームを試料上に集束するための対物レンズを備えた集束イオンビーム装置において、
イオンビーム内に含まれる中性粒子が試料に到達することを抑制できるように前記デフレクタを4段構成とし、上2段と下2段にはビームの走査やアラインメントを実行する本来の2段偏向器の役割を実行させるためのデフレクタ電圧を印加し、更に上2段によりイオンビームをある距離だけ平行、又は平行に準ずる移動をさせ、下2段により再びイオンビームを上2段により平行移動されていない場合の軌道に戻すように平行、または平行に準ずる移動をさせ得る各電圧成分をそれぞれ各段の電極に、本来のデフレクタ電圧の上に重畳させ印加できる機能を持つデフレクタ電源と、及び上の2段電極と下の2段電極の間に、前記中性粒子をほぼ完全に遮断し、イオンビームはほぼ全て通過させ得る大きさと構造を持った遮蔽板を設置したものであって、
前記デフレクタの上2段と下2段に本来の2段偏向器の役割を実行させるためのデフレクタ電圧を印加する場合に、上2段の内の何れか1段と、下2段の内の何れか1段にのみ本来の2段偏向器を実現させるためのデフレクタ電圧を印加することを特徴とする集束イオンビーム装置。
IPC (2)：
H01J 37/317
, H01J 37/147
H01J37/317 D
, H01J37/147 D
