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J-GLOBAL ID：201103050598661880

感放射線性組成物、硬化膜及びその形成方法

Inventor： 米田 英司 ,  梶田 徹
Applicant, Patent owner： JSR株式会社
Agent (8)： 天野 一規 ,  藤本 勝誠 ,  藤井 康輔 ,  池田 義典 ,  宮崎 悟 ,  小川 博生 ,  加藤 早苗 ,  奥谷 優
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010061575
Publication number (International publication number)：2011197142
Application date： Mar. 17, 2010
Publication date： Oct. 06, 2011
Summary：

【課題】低温加熱での硬化が可能であり、アルカリ現像性が良好で、かつ高い放射線感度を有すると共に、優れた硬度及び耐溶剤性を有する硬化膜を形成可能な感放射線性組成物を提供する。【解決手段】[A]アルカリ可溶性樹脂、[B]ビニロキシアルキルオキセタン及びビニロキシアリールオキセタン化合物からなる群より選択される少なくとも1種の化合物、及び[C]エネルギーの付与により酸を発生する化合物を含有する感放射線性組成物である。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

[A]アルカリ可溶性樹脂、 [B]下記式(1)及び(1 ́)でそれぞれ表される化合物からなる群より選択される少なくとも1種の化合物、及び [C]エネルギーの付与により酸を発生する化合物 を含有する感放射線性組成物。

IPC (8)：

G03F 7/038 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/40 ,  H01L 21/027 ,  C08F 20/06 ,  C08F 20/32 ,  C08F 20/28

FI (9)：

G03F7/038 503 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/028 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R ,  C08F20/06 ,  C08F20/32 ,  C08F20/28

F-Term (38)：

2H096AA25 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096DA01 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H125AC08 ,  2H125AC19 ,  2H125AC21 ,  2H125AD02 ,  2H125AD06 ,  2H125AE12P ,  2H125AF16P ,  2H125AF21P ,  2H125AF35P ,  2H125AF46P ,  2H125AF59P ,  2H125AM13P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AM73P ,  2H125AN32P ,  2H125BA22P ,  2H125CA12 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC12 ,  4J100AJ02P ,  4J100AL08Q ,  4J100BC53Q ,  4J100BC54Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38