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J-GLOBAL ID：201103056887972124

振動センサ校正装置

Inventor： 臼田 孝
Applicant, Patent owner： 工業技術院長
Agent (1)： 220000389 工業技術院計量研究所長
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：1997189358
Publication number (International publication number)：1999037807
Patent number：3023771
Application date： Jul. 15, 1997
Publication date： Feb. 12, 1999
Claim (excerpt)：

【請求項1】 周期的な振動振幅を振動センサを用いて測定するとともに、マイケルソン型光波干渉計を用いて計数法で測定し、その計数法による測定情報を参照情報として振動センサ測定情報を校正するようにした振動センサ装置において、上記マイケルソン型光波干渉計での干渉縞を電気的なパルス信号に変換するとともに、そのマイケルソン型光波干渉計でのビームスプリッタと参照鏡との間の光路内に均一な厚さと屈折率を有する透過体を配置し、その光透過体と光路との成す角度の微少調整により、基準光路長を変更して上記パルス信号をシフトアップすることにより上記パルス信号のノイズの影響を除去し、そのシフトアップしたパルス信号のカウント数から振幅を求め上記参照情報とした、ことを特徴とする振動センサ校正装置。

IPC (2)：

G01H 9/00 ,  G01D 18/00

FI (2)：

G01H 9/00 C ,  G01D 18/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• マイケルソン干渉計
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-046024   Applicant：株式会社東芝
• 特開平3-031730