Pat
J-GLOBAL ID：201103059559632374
弾性波装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009188475
Publication number (International publication number)：2011041127
Application date： Aug. 17, 2009
Publication date： Feb. 24, 2011
Summary：
【課題】高い品質係数(Q値が数千以上)を有し、かつ、k2が2〜6%の範囲である境界弾性波装置を実現することのできる技術を提供する。【解決手段】所定のカット角θを有するθYX-LN単結晶圧電基板1の表面に、境界弾性波の波長λの交差指形変換器(IDT)、酸化珪素膜5、および窒化アルミニウム膜6が形成された境界弾性波共振器において、酸化珪素膜5の膜厚h1およびカット角θ等を最適化する。例えば127.5°≦θ≦129.5°かつ20%≦h1/λ≦100%とする。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
ニオブ酸リチウム圧電単結晶を主成分とし、θ回転Yカットに切り出された平面を有する第1の媒質と、
窒化物質を主成分とする第3の媒質と、
前記第1の媒質と前記第3の媒質とに挟まれ、酸化珪素を主成分とする第2の媒質と、
前記第1の媒質と前記第2の媒質とに挟まれ、かつ、前記第1の媒質の前記平面上に形成された交差指形変換器および反射器と、
を有し、前記交差指形変換器は主に境界弾性波を励振する弾性波装置であって、
前記境界弾性波の波長をλ、前記第2の媒質の厚さをh1、前記交差指形変換器の厚さをhmとしたとき、1%≦hm/λ≦8%であること、さらに、
124.5°≦θ<125.5°かつ20%≦h1/λ≦45%、
125.5°≦θ<126.5°かつ20%≦h1/λ≦45%、
126.5°≦θ<127.5°かつ20%≦h1/λ≦47%、
126.5°≦θ<127.5°かつ87%≦h1/λ≦100%、
127.5°≦θ<128.5°かつ20%≦h1/λ≦100%、
128.5°≦θ<129.5°かつ20%≦h1/λ≦100%、
129.5°≦θ<130.5°かつ20%≦h1/λ≦75%、
130.5°≦θ<131.5°かつ20%≦h1/λ≦61%、
131.5°≦θ≦132.5°かつ33%≦h1/λ≦57%
の不等号式群のひとつに当てはまることを特徴とする弾性波装置。
IPC (4)：
H03H 9/25
, H03H 9/145
, H01L 41/09
, H01L 41/18
H03H9/25 Z
, H03H9/25 C
, H03H9/145 C
, H03H9/145 D
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101A
, H01L41/08 C
5J097AA01
, 5J097AA06
, 5J097AA09
, 5J097AA23
, 5J097BB11
, 5J097CC18
, 5J097DD29
, 5J097FF05
, 5J097GG04
, 5J097GG05
, 5J097GG07
, 5J097KK04
, 5J097KK05
, 5J097KK09
, 5J097KK10
