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J-GLOBAL ID:201103059559896266
表面処理方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
渡辺 望稔
, 三和 晴子
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010056220
Publication number (International publication number):2011190318
Application date: Mar. 12, 2010
Publication date: Sep. 29, 2011
Summary:
【課題】ポリエステル基板の表面を大気圧プラズマ処理により表面処理する際に、表面処理からの時間経過によって、基板表面にオリゴマーが泣き出しすることを防止することにより、基板と機能膜との密着性を向上させることができる高品質な表面処理を、効率よく連続的に行なうことができる表面処理方法を提供する。【解決手段】前記基板に大気圧プラズマ処理による表面処理を行なう大気圧プラズマ工程と、前記大気圧プラズマ工程の前に、前記基板の表面温度をガラス転移温度Tg超に加熱する加熱工程とを有することで上記課題を解決する。【選択図】図1
Claim (excerpt):
長尺なポリエステル基板を長手方向に搬送しつつ、前記基板に、大気圧プラズマ処理を行なう表面処理方法において、
前記基板に大気圧プラズマ処理による表面処理を行なう大気圧プラズマ工程と、
前記大気圧プラズマ工程の前に、前記基板の少なくとも1方の面の表面温度をガラス転移温度Tg超に加熱する加熱工程とを有することを特徴とする表面処理方法。
IPC (1):
FI (2):
F-Term (6):
4F073AA01
, 4F073BA24
, 4F073BB01
, 4F073CA01
, 4F073CA04
, 4F073CA63
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特公昭48-029316
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特開昭62-053815
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特許第3765190号
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