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J-GLOBAL ID：201103060753305447

加速度センサ

Inventor： 松本 隆志 ,  手島 康博
Applicant, Patent owner： ミツミ電機株式会社
Agent (1)： 鷲田 公一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009197215
Publication number (International publication number)：2011047821
Application date： Aug. 27, 2009
Publication date： Mar. 10, 2011
Summary：

【課題】センサ感度を下げることなく、また交差部角にも応力を集中させずに最大応力を抑制して、耐衝撃性を上げることができる加速度センサを提供する。【解決手段】加速度センサ100は、枠部111と、錘部112と、枠部111と錘部112とを連結する梁部113と、梁部113上に形成された加速度検出部と、梁部113と錘部112又は枠部111との連結部に近接するに従って広がるフィレット部116と、連結部115の下側に円弧状又は楕円形状で形成され、かつ連結部115から離れる方向に奥行きを有する応力緩和部117とを備え、応力緩和部117は、梁幅W、交差部幅L、奥行きOとしたとき、L≧100μm、30μm≦W≦60μm、10μm≦O≦40μmに形成する。【選択図】図6

Claim (excerpt)：

枠部と、 錘部と、 前記枠部と前記錘部とを連結する梁部と、 前記梁部上に形成された加速度検出部と、 前記梁部から前記錘部又は前記枠部に近接するに従って広がるフィレット部と、前記錘部又は前記枠部に円弧状又は楕円形状で形成されて前記梁部から離れる方向に奥行きを有する応力緩和部と、を有し、前記梁部と前記錘部又は前記枠部とを連結する連結部と、 を備えることを特徴とする加速度センサ。

IPC (3)：

G01P 15/12 ,  G01P 15/18 ,  H01L 29/84

FI (3)：

G01P15/12 D ,  G01P15/00 K ,  H01L29/84 A

F-Term (7)：

4M112AA02 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA27 ,  4M112CA36 ,  4M112FA07