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J-GLOBAL ID：201103064044120722

パターン形成方法、化学増幅型レジスト組成物及びレジスト膜

Inventor： 榎本 雄一郎 ,  樽谷 晋司 ,  上村 聡 ,  岩戸 薫 ,  加藤 啓太 ,  渋谷 明規
Applicant, Patent owner： 富士フイルム株式会社
Agent (2)： 高松 猛 ,  矢澤 清純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010003387
Publication number (International publication number)：2011141495
Application date： Jan. 08, 2010
Publication date： Jul. 21, 2011
Summary：

【課題】フォーカス余裕度(DOF)が広く、線幅バラツキ(LWR)が小さく、パターン形状に優れ、更にはブリッジ欠陥が低減されたパターンを形成できるパターン形成方法及び化学増幅型ネガ型レジスト組成物を提供することを課題としている。【解決手段】(ア)化学増幅型レジスト組成物により膜を形成する工程、 (イ)該膜を露光する工程、及び (ウ)有機溶剤を含む現像液を用いて現像する工程、 を含むパターン形成方法であり、 前記レジスト組成物が、 (A)樹脂、 (B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、 (C)架橋剤 (D)溶剤、及び、 (G)フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を有するとともに、塩基性を有する又は酸の作用により塩基性が増大する化合物 を含有することを特徴とするパターン形成方法。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

(ア)化学増幅型レジスト組成物により膜を形成する工程、 (イ)該膜を露光する工程、及び (ウ)有機溶剤を含む現像液を用いて現像する工程、 を含むパターン形成方法であり、 前記レジスト組成物が、 (A)樹脂、 (B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、 (C)架橋剤 (D)溶剤、及び、 (G)フッ素原子及び珪素原子の少なくとも一方を有するとともに、塩基性を有する又は酸の作用により塩基性が増大する化合物 を含有することを特徴とするパターン形成方法。

IPC (6)：

G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/38 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/075 ,  G03F 7/32

FI (7)：

G03F7/004 501 ,  H01L21/30 502R ,  G03F7/38 501 ,  G03F7/038 601 ,  G03F7/075 501 ,  G03F7/32 ,  G03F7/32 501

F-Term (76)：

2H096AA25 ,  2H096BA06 ,  2H096DA10 ,  2H096EA05 ,  2H096GA03 ,  2H096GA18 ,  2H125AE03P ,  2H125AE04P ,  2H125AE05P ,  2H125AE06P ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF20P ,  2H125AF21P ,  2H125AF26P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF39P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AH04 ,  2H125AH11 ,  2H125AH12 ,  2H125AH14 ,  2H125AH15 ,  2H125AH19 ,  2H125AJ12X ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ16Y ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ97Y ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AM10P ,  2H125AM12P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23N ,  2H125AM23P ,  2H125AM25P ,  2H125AM27N ,  2H125AM27P ,  2H125AM30P ,  2H125AM32P ,  2H125AM43P ,  2H125AM45P ,  2H125AM86P ,  2H125AM94P ,  2H125AM99P ,  2H125AN08P ,  2H125AN31P ,  2H125AN36P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN45P ,  2H125AN50P ,  2H125AN54P ,  2H125AN57P ,  2H125AN65P ,  2H125AN67P ,  2H125AN78P ,  2H125AN86P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC01 ,  2H125CC17 ,  2H125CD08P ,  2H125CD40 ,  2H125FA03 ,  2H125FA05