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J-GLOBAL ID：201103075338868565

クラスタービーム発生装置、基板処理装置、クラスタービーム発生方法及び基板処理方法

Inventor： 豊田 紀章 ,  山田 公 ,  成島 正樹
Applicant, Patent owner： 兵庫県 ,  東京エレクトロン株式会社
Agent (1)： 伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010120919
Publication number (International publication number)：2011249544
Application date： May. 26, 2010
Publication date： Dec. 08, 2011
Summary：

【課題】液体原料のクラスターと気体原料のクラスターの比率を容易に制御することのできるクラスタービーム合せい装置を提供する。【解決手段】クラスタービーム26を発生させるクラスタービーム発生装置10において、気体原料と液体原料とを混合する混合器40と、前記混合器40において混合された前記気体原料及び前記液体原料をクラスターとして供給するノズル21と、前記ノズル21の温度を調整する温度調整部23と、を有し、前記温度調整部23により、前記ノズルの温度を変化させることにより、前記クラスターにおける前記液体原料のクラスターと前記気体原料のクラスターとの比率を調整することを特徴とするクラスタービーム発生装置10を提供する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

クラスタービームを発生させるクラスタービーム発生装置において、 気体原料と液体原料とを混合する混合器と、 前記混合器において混合された前記気体原料及び前記液体原料をクラスタービームとして供給するノズルと、 前記ノズルの温度を調整する温度調整部と、 を有し、 前記温度調整部により、前記ノズルの温度を変化させることにより、前記クラスタービームにおける前記液体原料のクラスターと前記気体原料のクラスターとの比率を調整することを特徴とするクラスタービーム発生装置。

IPC (1)：

H01L 21/304

FI (2)：

H01L21/304 645Z ,  H01L21/304 645C

F-Term (12)：

5F157AA63 ,  5F157AA64 ,  5F157AA76 ,  5F157BE12 ,  5F157BE33 ,  5F157BF22 ,  5F157BG13 ,  5F157BG14 ,  5F157BG58 ,  5F157BG72 ,  5F157BG76 ,  5F157DB46