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J-GLOBAL ID:201103075889291005
カーボンナノチューブの製造方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
,
Agent (3):
三好 秀和
, 高橋 俊一
, 鈴木 壯兵衞
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010037412
Publication number (International publication number):2011173743
Application date: Feb. 23, 2010
Publication date: Sep. 08, 2011
Summary:
【課題】カーボンナノチューブの直径や長さの制御が容易であり、基板上に選択的にカーボンナノチューブを製造できるカーボンナノチューブの製造方法を提供する。【解決手段】活性液面連続真空蒸着法により作製した金属微粒子を含む触媒溶液を基礎基板上に滴下し乾燥させ基礎基板上に金属微粒子層を備える基板を製造する工程と、基板をチャンバー内に配置し基板に化学気相成長(CVD)処理しカーボンナノチューブを製造する工程とを含むカーボンナノチューブの製造方法。【選択図】なし
Claim (excerpt):
活性液面連続真空蒸着法により作製した金属微粒子を含む触媒溶液を基礎基板上に滴下し乾燥させ前記基礎基板上に金属微粒子層を備える基板を製造する工程と、
前記基板をチャンバー内に配置し前記基板に化学気相成長(CVD)処理しカーボンナノチューブを製造する工程と
を含むことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (1):
FI (1):
F-Term (18):
4G146AA11
, 4G146AB07
, 4G146AC03B
, 4G146AC16B
, 4G146BA11
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC09
, 4G146BC16
, 4G146BC18
, 4G146BC23
, 4G146BC27
, 4G146BC33B
, 4G146BC38B
, 4G146BC42
, 4G146BC44
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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カーボンナノコイル製造用触媒及びその製造方法並びにカーボンナノコイル製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-018352
Applicant:独立行政法人科学技術振興機構, 大阪府, 大研化学工業株式会社, 大塚化学株式会社, 大陽東洋酸素株式会社, 日新電機株式会社
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カーボンナノチューブ膜、層、ファブリック、リボン、素子及び製品を製造するために予備成形ナノチューブを使用する方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願2003-588004
Applicant:ナンテロ,インク.
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合金微粒子コロイドの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-120263
Applicant:独立行政法人物質・材料研究機構
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特開昭60-161490
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カーボンナノチューブの製造方法及び製造装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-271292
Applicant:株式会社デンソー, 丸山茂夫
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樹脂に対する分散性に優れたカーボンナノファイバーとその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-345423
Applicant:三菱マテリアル株式会社, 株式会社ジェムコ
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カーボンナノチューブの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-014981
Applicant:独立行政法人産業技術総合研究所, 吾郷浩樹, 湯村守雄, 大嶋哲
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