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J-GLOBAL ID:201103075889291005

カーボンナノチューブの製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 三好 秀和 ,  高橋 俊一 ,  鈴木 壯兵衞
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010037412
Publication number (International publication number):2011173743
Application date: Feb. 23, 2010
Publication date: Sep. 08, 2011
Summary:
【課題】カーボンナノチューブの直径や長さの制御が容易であり、基板上に選択的にカーボンナノチューブを製造できるカーボンナノチューブの製造方法を提供する。【解決手段】活性液面連続真空蒸着法により作製した金属微粒子を含む触媒溶液を基礎基板上に滴下し乾燥させ基礎基板上に金属微粒子層を備える基板を製造する工程と、基板をチャンバー内に配置し基板に化学気相成長(CVD)処理しカーボンナノチューブを製造する工程とを含むカーボンナノチューブの製造方法。【選択図】なし
Claim (excerpt):
活性液面連続真空蒸着法により作製した金属微粒子を含む触媒溶液を基礎基板上に滴下し乾燥させ前記基礎基板上に金属微粒子層を備える基板を製造する工程と、 前記基板をチャンバー内に配置し前記基板に化学気相成長(CVD)処理しカーボンナノチューブを製造する工程と を含むことを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (1):
C01B 31/02
FI (1):
C01B31/02 101F
F-Term (18):
4G146AA11 ,  4G146AB07 ,  4G146AC03B ,  4G146AC16B ,  4G146BA11 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB22 ,  4G146BB23 ,  4G146BC09 ,  4G146BC16 ,  4G146BC18 ,  4G146BC23 ,  4G146BC27 ,  4G146BC33B ,  4G146BC38B ,  4G146BC42 ,  4G146BC44
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
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