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J-GLOBAL ID:201103076314497228

質量分析器および質量分析方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 細見 吉生
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2009174809
Publication number (International publication number):2011029043
Application date: Jul. 27, 2009
Publication date: Feb. 10, 2011
Summary:
【課題】 二次イオン収率を低下させることなく試料の損傷を改善することができる質量分析器を提供する。【解決手段】 二次イオンおよび後からイオン化された中性の二次粒子を分析するための質量分析器において、試料を照射することで二次粒子を発生させるための一次イオンビームを作り出すイオン源と、二次粒子の質量分析のための分析ユニットとを設け、一次イオンを構成する原子1個あたりの運動エネルギーを20eV以下の領域で制御できる機能を装備させる。前記一次イオンとして、気体原子がファンデルワールス力で凝集したガスクラスターイオンを用いるとよい。【選択図】 図1
Claim 1:
二次イオンおよび後からイオン化された中性の二次粒子を分析するための質量分析器であって、試料を照射することで二次粒子を発生させるための一次イオンビームを作り出すイオン源と、二次粒子の質量分析のための分析ユニットを有しており、一次イオンを構成する原子1個あたりの運動エネルギーを20eV以下の領域で制御できる機能を備えていることを特徴とする質量分析器。
IPC (3):
H01J 49/14 ,  H01J 49/40 ,  G01N 27/64
FI (3):
H01J49/14 ,  H01J49/40 ,  G01N27/64
F-Term (9):
2G041CA01 ,  2G041DA13 ,  2G041DA16 ,  2G041FA12 ,  2G041GA07 ,  2G041GA13 ,  2G041GA22 ,  2G041GA29 ,  5C038GG02

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