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J-GLOBAL ID：201103076751448864

反射スペクトル測定装置

Inventor： 貝原 巳樹雄
Applicant, Patent owner： 独立行政法人科学技術振興機構
Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：1999133420
Publication number (International publication number)：2000321205
Patent number：3688513
Application date： May. 14, 1999
Publication date： Nov. 24, 2000
Claim (excerpt)：

【請求項1】 反射スペクトル測定装置において、(a)楕円面鏡と、(b)光源と、(c)前記楕円面鏡内に配置した試料と、(d)前記楕円面鏡内に配置した光検出器と、(e)該光検出器に接続されるコンピュータとを具備し、(f)前記試料を前記楕円面鏡の一方の焦点に配置し、前記光検出器を前記楕円面鏡の他方の焦点に配置するとともに、前記試料に入射する光の入射角度を可変にする駆動機構とを具備することを特徴とする反射スペクトル測定装置。

IPC (1)：

G01N 21/47

FI (1)：

G01N 21/47 Z