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J-GLOBAL ID：201103078565713062

光学素子とその製造方法

Inventor： 高橋 博之
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (2)： 大垣 孝 ,  岡田 宏之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010072212
Publication number (International publication number)：2011203604
Application date： Mar. 26, 2010
Publication date： Oct. 13, 2011
Summary：

【課題】反射膜をグレーティングカプラ直下にのみ形成し、グレーティングカプラの結合効率を高めるとともに、その他の領域部分には、反射膜を設けずに迷光による雑音を抑制する、光学素子を提供する。【解決手段】支持シリコン層30、BOX層40及びSOI層50がこの順に積層されたSOI基板20と、SOI層に形成されたグレーティングカプラ54と、SOI層上に形成されたオーバークラッド層60とを備えて構成される。ここで、グレーティングカプラが形成された領域の支持シリコン層には、BOX層を露出する窓31が形成されており、窓内に露出したBOX層上に反射膜80が形成されている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

支持シリコン層、BOX層及びSOI層がこの順に積層されたSOI基板と、 前記SOI層に形成されたグレーティングカプラと、 前記SOI層上に形成されたオーバークラッド層と を備え、 前記グレーティングカプラが形成された領域の前記支持シリコン層に、前記BOX層を露出する窓が形成されており、 前記窓内に露出したBOX層上に反射膜が形成されている ことを特徴とする光学素子。

IPC (3)：

G02B 6/122 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/13

FI (3)：

G02B6/12 C ,  G02B5/18 ,  G02B6/12 M

F-Term (18)：

2H147BG04 ,  2H147CA13 ,  2H147EA13A ,  2H147EA13C ,  2H147EA14B ,  2H147EA14C ,  2H147FA06 ,  2H147FC02 ,  2H147FC05 ,  2H147GA26 ,  2H249AA13 ,  2H249AA33 ,  2H249AA37 ,  2H249AA44 ,  2H249AA51 ,  2H249AA59 ,  2H249AA62 ,  2H249AA64

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭63-298307
  

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• Proc.IEEE/LEOS Workshop Fibres and Opt.Passive, 2005, p.115-120