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J-GLOBAL ID：201103084932620777

紫外線センサ、およびその製造方法

Inventor： 竹田 聡 ,  樋野 治道 ,  新井 直樹 ,  小日向 貢 ,  正木 進
Applicant, Patent owner： 日本軽金属株式会社 ,  トーニック株式会社
Agent (1)： 赤澤 日出夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010038512
Publication number (International publication number)：2011176090
Application date： Feb. 24, 2010
Publication date： Sep. 08, 2011
Summary：

【課題】 低コストの酸化ガリウム単結晶基板を用いた紫外線センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 酸化ガリウム単結晶の成長方向に対して直交する直交面41または該直交面41から所定の角度傾斜した面を受光面12rとする酸化ガリウム単結晶基板11と、酸化ガリウム単結晶基板11の第1表面に形成されたオーミック電極13と、受光面12rを含む酸化ガリウム単結晶基板11の第2表面に形成されたショットキー電極12とを備えた。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

酸化ガリウム単結晶の成長方向に対して直交する直交面または該直交面から所定の角度傾斜した面を受光面とする酸化ガリウム単結晶基板と、 前記酸化ガリウム単結晶基板の第1表面に形成された第1電極と、 前記受光面を含む前記酸化ガリウム単結晶基板の第2表面に形成された第2電極と、 を備えることを特徴とする紫外線センサ。

IPC (1)：

H01L 31/108

FI (1)：

H01L31/10 C

F-Term (16)：

5F049MA05 ,  5F049MB01 ,  5F049NA08 ,  5F049NA18 ,  5F049NB03 ,  5F049PA06 ,  5F049PA15 ,  5F049QA04 ,  5F049SE05 ,  5F049SE12 ,  5F049SS02 ,  5F049SS09 ,  5F049TA03 ,  5F049TA06 ,  5F049TA10 ,  5F049WA05