Pat
J-GLOBAL ID:201103086890187345
感光性樹脂組成物
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (6):
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 中村 和広
, 小野田 浩之
, 齋藤 都子
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2009142753
Publication number (International publication number):2010286796
Application date: Jun. 15, 2009
Publication date: Dec. 24, 2010
Summary:
【課題】印刷配線板、リードフレーム、半導体パッケージ等の製造、金属の精密加工等の分野において、エッチングレジスト又はめっきレジスト等のレジスト材料として優れた高解像性を有する光重合性樹脂組成物の提供。【解決手段】(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均分子量が5千〜50万のバインダー用樹脂:20〜90質量%、(b)光重合可能な不飽和基含有化合物:3〜70質量%、及び(c)光重合開始剤:0.1〜20質量%を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(b)光重合可能な不飽和基含有化合物としてシルセスキオキサン化合物を含有することを特徴とする前記感光性樹脂組成物。前記シルセスキオキサン化合物は、好ましくはかご状シルセスキオキサンである。【選択図】なし
Claim (excerpt):
(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、かつ、重量平均分子量が5千〜50万のバインダー用樹脂:20〜90質量%、(b)光重合可能な不飽和基含有化合物:3〜70質量%、及び(c)光重合開始剤:0.1〜20質量%を含有する感光性樹脂組成物であって、前記(b)光重合可能な不飽和基含有化合物としてシルセスキオキサン化合物を含有することを特徴とする前記感光性樹脂組成物。
IPC (7):
G03F 7/075
, G03F 7/027
, G03F 7/004
, G03F 7/029
, C08F 2/48
, C08F 2/44
, C08F 265/06
FI (7):
G03F7/075 511
, G03F7/027 502
, G03F7/004 512
, G03F7/029
, C08F2/48
, C08F2/44
, C08F265/06
F-Term (43):
2H125AC34
, 2H125AC59
, 2H125AC64
, 2H125AD14
, 2H125AD24
, 2H125AM13P
, 2H125AM22P
, 2H125AM32P
, 2H125AN66P
, 2H125BA17P
, 2H125CA13
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 2H125CD08P
, 4J011AC04
, 4J011PA69
, 4J011QA03
, 4J011QA18
, 4J011QA43
, 4J011QA46
, 4J011QB16
, 4J011QB25
, 4J011RA03
, 4J011SA78
, 4J011TA03
, 4J011UA01
, 4J011VA01
, 4J011WA01
, 4J026AA17
, 4J026AA43
, 4J026AA45
, 4J026AC23
, 4J026BA28
, 4J026BA29
, 4J026BA43
, 4J026BA50
, 4J026BB03
, 4J026DA02
, 4J026DA12
, 4J026DB05
, 4J026DB06
, 4J026DB36
, 4J026GA07
Patent cited by the Patent:
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