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J-GLOBAL ID：201103088254967198

ホールパターン形状評価装置

Inventor： 池上 貴久 ,  飯泉 孝
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2001290530
Publication number (International publication number)：2002176085
Patent number：3705179
Application date： Sep. 25, 2001
Publication date： Jun. 21, 2002
Claim (excerpt)：

【請求項1】 荷電粒子銃から放出された荷電粒子線を試料上で走査することによって、試料から放出される検出信号に基づいて、ホールパターンの半径方向の距離を測長するホールパターン形状評価装置において、 前記ホールパターンの一点を中心として極座標展開を行う手段と、 前記一点を示すカーソルと、前記検出信号に基づいて形成される画像に表示されたホールパターンの中心を合わせるための手段と、 前記検出信号に基づいて前記ホールパターンの一点を中心とした半径方向の座標と角度座標をそれぞれ一次元とすると共に、前記ホールパターンのエッジを含む極座標展開画像を形成する手段と、 当該極座標展開画像の前記半径方向の前記エッジ検出に基づいて、前記ホールパターンの半径方向の距離を測長する手段を備えたことを特徴とするホールパターン形状評価装置。

IPC (5)：

H01L 21/66 ,  G01B 15/00 ,  G06T 1/00 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/28

FI (5)：

H01L 21/66 J ,  G01B 15/00 B ,  G06T 1/00 305 A ,  H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/28 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• ホールパターン形状評価装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-173952   Applicant：株式会社日立製作所