インピーダンス計測センサ、インピーダンス計測装置およびインピーダンス計測方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：栗原浩之 , 村中克年
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010108770
Publication number (International publication number)：2011237273
Application date： May. 10, 2010
Publication date： Nov. 24, 2011
Summary：

【課題】局所的な液体の存在量を高精度の空間分布で計測するとともに、液体が薄い液膜の場合でも適切に高精度に計測することができるインピーダンス計測センサを提供する。【解決手段】一方の電極である励起電極21及び他方の電極である計測電極22からなる電極対25の複数個と、励起電極21の基準電位と同じ電位に保持したグランド領域23と、励起電極21、計測電極22及びグランド領域23間を電気的に絶縁する絶縁部24とを有するインピーダンス計測センサであって、絶縁部24は、周囲をグランド領域23に囲まれてそれぞれ独立した絶縁領域を形成しており、各電極対25のうち同一電極対における励起電極21と計測電極22との間には絶縁領域のみが形成されている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

一方の電極である励起電極及び他方の電極である計測電極からなる電極対の複数個と、励起電極の基準電位と同じ電位に保持されたグランド領域と、前記励起電極、計測電極及び前記グランド領域間を電気的に絶縁する絶縁部とを有するインピーダンス計測センサであって、前記絶縁部は、周囲を前記グランド領域に囲まれてそれぞれ独立した絶縁領域を形成しており、前記各電極対のうち同一電極対における励起電極と計測電極との間には前記絶縁領域のみが形成されていることを特徴とするインピーダンス計測センサ。

IPC (3)：

G01B 7/06 , G01N 27/02 , G01R 27/02

FI (3)：

G01B7/06 Z , G01N27/02 Z , G01R27/02 A

F-Term (27)：

2F063AA16 , 2F063BA24 , 2F063BB02 , 2F063BB05 , 2F063BC01 , 2F063DD07 , 2F063FA20 , 2F063LA19 , 2G028AA01 , 2G028BC04 , 2G028CG08 , 2G028DH06 , 2G028FK01 , 2G028GL07 , 2G028HN07 , 2G028HN09 , 2G028HN13 , 2G028MS02 , 2G060AA05 , 2G060AC02 , 2G060AE40 , 2G060AF06 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060AG13 , 2G060HC10 , 2G060HC13

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

センサ、液膜測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2008-162473 Applicant：三菱重工業株式会社
特開昭58-097605
特開平1-203934

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

Novel fluid dynamic instrumentation for mixing studies developed at ETH Zurich and PSI

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