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J-GLOBAL ID:201103090303362021
発電センサ素子およびセンサノード
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (3):
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2010021934
Publication number (International publication number):2011160612
Application date: Feb. 03, 2010
Publication date: Aug. 18, 2011
Summary:
【課題】発電素子により振動から抽出した電力で動作して、振動素子により自己の振動を検知するセンサノードを小型化する。【解決手段】発電センサ素子11は、基板11F上に形成された薄板金属からなる発電電極11Cと、この発電電極11C上に配置された帯電体11Bと、基板11F上であって発電電極11Cの周辺位置に固定された支持部11Hと、一端が支持部11Hの上端に固定された、弾性を有するバネ11Gと、バネ11Gの他端に接続されて、帯電体11Bの上方であって、帯電体11Bと水平に対向する位置に振動可能に支持された、薄板金属からなる可動体11Aと、基板11F上で発電電極11Cの周辺位置であって、可動体11Aを挟んで互いに対向する位置に立設された薄板金属からなる2つのセンサ電極11D,11Eとを備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
基板上に形成された薄板金属からなる発電電極と、
この発電電極上に配置された帯電体と、
前記基板上であって前記発電電極の周辺位置に固定された支持部と、
一端が前記支持部の上端に固定された、弾性を有するバネと、
前記バネの他端に接続されて、前記帯電体の上方であって、当該帯電体と水平に対向する位置に振動可能に支持された、薄板金属からなる可動体と、
前記基板上で前記発電電極の周辺位置であって、前記可動体を挟んで互いに対向する位置に立設された薄板金属からなる2つのセンサ電極と
を備え、
前記可動体および前記電気センサ電極からなる振動素子が、外部から印加された振動に応じて前記可動体が基板面と並行したX方向に変位した際に、前記可動体と前記センサ電極との間に生じる2つの容量が変化して、当該変位に応じて振幅が変化する、互いに逆位相の検知信号を前記2つのセンサ電極からそれぞれ出力し、
前記可動体、前記帯電体、および前記発電電極からなる発電素子が、外部から印加された振動に応じて前記可動体が前記基板面と直交するZ方向に変位した際に、前記発電電極に誘起された電荷が変化して、当該変位に応じて振幅が変化する電圧信号を前記発電電極から出力する
ことを特徴とする発電センサ素子。
IPC (2):
FI (2):
F-Term (17):
2F073AA40
, 2F073AB02
, 2F073AB12
, 2F073AB14
, 2F073BB02
, 2F073CD04
, 2F073CD11
, 2F073EE12
, 2F073FF06
, 2F073FF15
, 2F073FG01
, 2F073FG02
, 2F073FG04
, 2F073GG01
, 2F073GG03
, 2F073GG04
, 2F073GG07
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