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J-GLOBAL ID：201103092009301769

半導体装置

Inventor： 山崎 舜平 ,  小山 潤 ,  加藤 清
Applicant, Patent owner： 株式会社半導体エネルギー研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010239850
Publication number (International publication number)：2011119674
Application date： Oct. 26, 2010
Publication date： Jun. 16, 2011
Summary：

【課題】新たな構造の半導体装置を提供することを目的の一とする。【解決手段】複数の記憶素子が直列に接続され、複数の記憶素子の一は、第1〜第3のゲート電極、第1〜第3のソース電極、および第1〜第3のドレイン電極を有する第1〜第3のトランジスタを有し、第2のトランジスタは酸化物半導体層を含んで構成され、第1のゲート電極と、第2のソース電極または第2のドレイン電極の一方とは、電気的に接続され、第1の配線と、第1のソース電極と、第3のソース電極とは、電気的に接続され、第2の配線と、第1のドレイン電極と、第3のドレイン電極とは、電気的に接続され、第3の配線と、第2のソース電極または第2のドレイン電極の他方とは、電気的に接続され、第4の配線と、第2のゲート電極とは、電気的に接続され、第5の配線と、第3のゲート電極とは電気的に接続された半導体装置。【選択図】図11

Claim (excerpt)：

第1の配線と、 第2の配線と、 第3の配線と、 第4の配線と、 第5の配線と、を有し、 前記第1の配線と、前記第2の配線との間には、複数の記憶素子が直列に接続され、 前記複数の記憶素子の一は、 第1のゲート電極、第1のソース電極、および第1のドレイン電極を有する第1のトランジスタと、 第2のゲート電極、第2のソース電極、および第2のドレイン電極を有する第2のトランジスタと、 第3のゲート電極、第3のソース電極、および第3のドレイン電極を有する第3のトランジスタと、を有し、 前記第1のトランジスタは、半導体材料を含む基板に設けられ、 前記第2のトランジスタは、酸化物半導体層を含んで構成され、 前記第1のゲート電極と、前記第2のソース電極または前記第2のドレイン電極の一方とは、電気的に接続され、 前記第1の配線と、前記第1のソース電極と、前記第3のソース電極とは、電気的に接続され、 前記第2の配線と、前記第1のドレイン電極と、前記第3のドレイン電極とは、電気的に接続され、 前記第3の配線と、前記第2のソース電極または前記第2のドレイン電極の他方とは、電気的に接続され、 前記第4の配線と、前記第2のゲート電極とは、電気的に接続され、 前記第5の配線と、前記第3のゲート電極とは電気的に接続された半導体装置。

IPC (4)：

H01L 21/824 ,  H01L 27/108 ,  H01L 29/786 ,  G11C 11/405

FI (4)：

H01L27/10 321 ,  H01L29/78 613B ,  H01L29/78 618B ,  G11C11/34 352B

F-Term (132)：

5F083AD02 ,  5F083AD10 ,  5F083AD69 ,  5F083GA01 ,  5F083GA05 ,  5F083GA11 ,  5F083HA02 ,  5F083HA06 ,  5F083JA02 ,  5F083JA05 ,  5F083JA19 ,  5F083JA35 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA53 ,  5F083JA56 ,  5F083JA60 ,  5F083LA03 ,  5F083LA04 ,  5F083LA05 ,  5F083LA07 ,  5F083LA10 ,  5F083NA01 ,  5F083PR01 ,  5F083PR03 ,  5F083PR05 ,  5F083PR22 ,  5F083PR33 ,  5F083PR34 ,  5F083PR40 ,  5F110AA01 ,  5F110AA09 ,  5F110BB08 ,  5F110CC01 ,  5F110CC02 ,  5F110CC03 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE09 ,  5F110EE14 ,  5F110EE32 ,  5F110EE38 ,  5F110EE42 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110EE48 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF22 ,  5F110FF23 ,  5F110FF26 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG06 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG33 ,  5F110GG35 ,  5F110GG43 ,  5F110GG57 ,  5F110GG58 ,  5F110HJ01 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK05 ,  5F110HK21 ,  5F110HK22 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HK35 ,  5F110HK40 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110HL24 ,  5F110HM15 ,  5F110HM17 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN34 ,  5F110NN40 ,  5F110NN62 ,  5F110NN65 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72 ,  5F110NN78 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ08 ,  5F110QQ19 ,  5M024AA50 ,  5M024AA94 ,  5M024AA96 ,  5M024CC02 ,  5M024CC03 ,  5M024CC22 ,  5M024CC70 ,  5M024HH16 ,  5M024PP03