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J-GLOBAL ID：201103092550281665

形状測定装置

Inventor： 神藤 建太
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 保坂 丈世
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009270908
Publication number (International publication number)：2011112577
Application date： Nov. 30, 2009
Publication date： Jun. 09, 2011
Summary：

【課題】形状測定中は移動機構部を固定することができる形状測定装置を提供する。【解決手段】光学式センサ40により、静止した状態で被測定物体51の表面を測定して測定情報を出力するプローブ12と、アーム部11a及び少なくとも2以上の関節部11bを有し、所定の空間内でプローブ12を移動可能に支持する移動機構部11と、関節部11bに設けられ、アーム部11a間、若しくは、アーム部11aとプローブ12との角度情報を検出するエンコーダ21と、関節部11bを被測定物体51に対して静止させるロック機構部15と、光学式センサ40により測定情報を取得し、エンコーダ21から角度情報を取得して、被測定物体51の形状情報を算出する制御部20と、を有する形状測定装置100において、制御部20は、光学式センサ40により被測定物体51を測定するときに、ロック機構部15を作動させて関節部11bを静止させるように構成される。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光学式センサにより、静止した状態で被測定物体の表面を測定して、当該被測定物体の形状の測定情報を出力するプローブと、 アーム部、及び、前記アーム部間、若しくは、前記アーム部と前記プローブとを回転可能に接続する少なくとも2以上の接続部を有し、所定の空間内で前記プローブを移動可能に支持する移動機構部と、 前記接続部に設けられ、当該接続部が接続する前記アーム部間、若しくは、前記アーム部と前記プローブとの角度情報を検出する角度情報検出部と、 前記接続部を前記被測定物体に対して静止させるロック機構部と、 前記光学式センサにより前記測定情報を取得し、前記角度情報検出部から前記角度情報を取得して、前記被測定物体の形状情報を算出する制御部と、を有し、 前記制御部は、前記光学式センサにより前記被測定物体を測定するときに、前記ロック機構部を作動させて前記接続部を静止させるように構成された形状測定装置。

IPC (1)：

G01B 11/25

FI (1)：

G01B11/25 H

F-Term (18)：

2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF15 ,  2F065FF65 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM06 ,  2F065PP04 ,  2F065PP25 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065SS09 ,  2F065SS13 ,  2F065UU03