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J-GLOBAL ID：201103092565957592

導電性酸化物及びその製造方法、並びにそれを用いた透明導電膜

Inventor： 中村 崇 ,  柴田 悦郎 ,  大塚 誠
Applicant, Patent owner： 国立大学法人東北大学
Agent (1)： 特許業務法人セントクレスト国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009186354
Publication number (International publication number)：2011040270
Application date： Aug. 11, 2009
Publication date： Feb. 24, 2011
Summary：

【課題】インジウムの含有量を低減させているにも拘らず、十分に高い光透過性及び十分に低い抵抗率を有する導電性酸化物を提供すること。【解決手段】酸化インジウム及び酸化スズからなるインジウムスズ複合酸化物と、前記インジウムスズ複合酸化物にドープされたアンチモンとを含有する導電性酸化物であって、前記インジウムスズ複合酸化物中のインジウム及びスズの合計量に対するスズの含有量の原子比率が2.6〜47.2at%であり、且つ、前記導電性酸化物中のインジウム、スズ及びアンチモンの合計量に対するアンチモンの含有量の原子比率が2.7〜14.5at%であることを特徴とする導電性酸化物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

酸化インジウム及び酸化スズからなるインジウムスズ複合酸化物と、前記インジウムスズ複合酸化物にドープされたアンチモンとを含有する導電性酸化物であって、前記インジウムスズ複合酸化物中のインジウム及びスズの合計量に対するスズの含有量の原子比率が8.8〜46.5at%であり、且つ、前記導電性酸化物中のインジウム、スズ及びアンチモンの合計量に対するアンチモンの含有量の原子比率が2.7〜14.5at%であることを特徴とする導電性酸化物。

IPC (6)：

H01B 5/14 ,  H01B 1/08 ,  H01B 13/00 ,  C23C 14/34 ,  C04B 35/457 ,  C04B 35/00

FI (6)：

H01B5/14 A ,  H01B1/08 ,  H01B13/00 511Z ,  C23C14/34 A ,  C04B35/00 R ,  C04B35/00 J

F-Term (29)：

4G030AA34 ,  4G030AA39 ,  4G030AA42 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030CA01 ,  4G030GA22 ,  4G030GA25 ,  4G030GA27 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA45 ,  4K029BA50 ,  4K029BC09 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC26 ,  4K029GA01 ,  5G301CA02 ,  5G301CA15 ,  5G301CA22 ,  5G301CA23 ,  5G301CD03 ,  5G301CE01 ,  5G301CE02 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09 ,  5G307FC10