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J-GLOBAL ID：201103093719785524

半導体装置およびその作製方法

Inventor： 山崎 舜平
Applicant, Patent owner： 株式会社半導体エネルギー研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2010262376
Publication number (International publication number)：2011135063
Application date： Nov. 25, 2010
Publication date： Jul. 07, 2011
Summary：

【課題】新たな構造の酸化物半導体層を用いた新たな構造の半導体装置を提供することを目的の一とする。【解決手段】絶縁表面を有する基板上の、第1の酸化物半導体層の表面から内部に向かって成長させた結晶領域を有する第1の酸化物半導体層と、第1の酸化物半導体層上の第2の酸化物半導体層と、第2の酸化物半導体層と接するソース電極層およびドレイン電極層と、第2の酸化物半導体層、ソース電極層、およびドレイン電極層を覆うゲート絶縁層と、ゲート絶縁層上の、第2の酸化物半導体層と重畳する領域のゲート電極層と、を有し、第2の酸化物半導体層は、結晶領域から成長させた結晶を有する層である半導体装置である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

絶縁表面を有する基板上の、第1の酸化物半導体層の表面から内部に向かって成長させた結晶領域を有する第1の酸化物半導体層と、 前記第1の酸化物半導体層上の第2の酸化物半導体層と、 前記第2の酸化物半導体層と接するソース電極層およびドレイン電極層と、 前記第2の酸化物半導体層、前記ソース電極層、および前記ドレイン電極層を覆うゲート絶縁層と、 前記ゲート絶縁層上の、前記第2の酸化物半導体層と重畳する領域のゲート電極層と、 を有し、 前記第2の酸化物半導体層は、前記結晶領域から成長させた結晶を有する層である半導体装置。

IPC (3)：

H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/20

FI (7)：

H01L29/78 627G ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 618E ,  H01L29/78 620 ,  H01L29/78 618C ,  H01L29/78 618A ,  H01L21/20

F-Term (121)：

5F110AA01 ,  5F110AA14 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110BB05 ,  5F110BB10 ,  5F110BB11 ,  5F110BB12 ,  5F110CC01 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE30 ,  5F110EE42 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF25 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG06 ,  5F110GG07 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG17 ,  5F110GG19 ,  5F110GG22 ,  5F110GG25 ,  5F110GG28 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG35 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110GG57 ,  5F110GG58 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK21 ,  5F110HK22 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HK34 ,  5F110HK35 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HM03 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN74 ,  5F110PP01 ,  5F110PP10 ,  5F110PP36 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ19 ,  5F152AA03 ,  5F152AA06 ,  5F152AA12 ,  5F152BB02 ,  5F152BB03 ,  5F152CC02 ,  5F152CC03 ,  5F152CC04 ,  5F152CC05 ,  5F152CC06 ,  5F152CC08 ,  5F152CD05 ,  5F152CD08 ,  5F152CD13 ,  5F152CD14 ,  5F152CD15 ,  5F152CD16 ,  5F152CE01 ,  5F152CE16 ,  5F152CE24 ,  5F152CE43 ,  5F152EE14 ,  5F152EE16 ,  5F152FF14 ,  5F152FF15 ,  5F152FF16 ,  5F152FF22 ,  5F152FF26 ,  5F152FF30