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J-GLOBAL ID：201103094794833522

誘電率の測定方法及び測定装置

Inventor： 井上 浩司 ,  高松 弘行
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (3)： 小谷 悦司 ,  小谷 昌崇 ,  村松 敏郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009218669
Publication number (International publication number)：2011069630
Application date： Sep. 24, 2009
Publication date： Apr. 07, 2011
Summary：

【課題】近接場電磁波の共振周波数の検出値を大きくすることにより、試料の誘電率の分解能を向上することができる誘電率の測定方法及び誘電率の測定装置を提供すること。【解決手段】試料14よりも高い導電性を有する導電性基板を試料14の一方の面に密着させる工程と、試料14の他方の面をプローブ共振器3の放射面11bに密着させる工程と、プローブ共振器3の放射面11bから近接場電磁波を放射させる工程と、近接場電磁波の共振周波数を検出する工程と、この共振周波数に基づいて試料14の誘電率を特定する工程とを含む。【選択図】図4

Claim (excerpt)：

近接場電磁波を放射可能な放射面を有するプローブ共振器を用いて試料の誘電率を測定するための方法であって、 前記試料よりも高い導電性を有する導電性部材と、前記プローブ共振器の放射面とを前記試料に対して相対向する方向から密着させることにより、当該導電性部材とプローブ共振器との間に静電容量を形成する形成工程と、 前記形成工程を行っている状態で前記プローブ共振器の放射面から近接場電磁波を放射させる放射工程と、 前記放射工程を行っている間に前記近接場電磁波の共振周波数を検出する本検出工程と、 前記本検出工程により検出された共振周波数に基いて前記試料の誘電率を特定する特定工程とを含むことを特徴とする誘電率の測定方法。

IPC (2)：

G01R 27/26 ,  G01N 22/00

FI (3)：

G01R27/26 H ,  G01N22/00 Y ,  G01N22/00 V

F-Term (7)：

2G028AA04 ,  2G028BB05 ,  2G028BC02 ,  2G028CG09 ,  2G028CG13 ,  2G028DH15 ,  2G028HM05