Pat

J-GLOBAL ID：201103094878843612

パターン形成方法及び感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物

Inventor： 榎本 雄一郎 ,  樽谷 晋司 ,  上村 聡 ,  岩戸 薫 ,  加藤 啓太
Applicant, Patent owner： 富士フイルム株式会社
Agent (19)： 蔵田 昌俊 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  福原 淑弘 ,  峰 隆司 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  幸長 保次郎 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  勝村 紘 ,  河井 将次 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子 ,  竹内 将訓 ,  市原 卓三 ,  山下 元
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009250885
Publication number (International publication number)：2011095607
Application date： Oct. 30, 2009
Publication date： May. 12, 2011
Summary：

【課題】 フォーカス余裕度(DOF)及びラフネス特性に優れ且つブリッジ欠陥及び欠けの少ないパターンを形成可能とするパターン形成方法並びに感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 本発明に係るパターン形成方法は、(A)感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて膜を形成することと、(B)前記膜を露光することと、(C)有機溶剤を含んだ現像液を用いて前記露光された膜を現像することとを含み、前記組成物は、(a)酸の作用により前記現像液に対する溶解度が減少する樹脂であって、酸素原子を含んだ基がエステル結合及び芳香環基の何れも含んでいない2価の連結基又は単結合を介して主鎖と結合している繰り返し単位を備え、前記樹脂に占める前記繰り返し単位の含有率は、前記樹脂中の全繰り返し単位に対して20mol%乃至100mol%の範囲内である樹脂と、(b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、(d)溶剤とを含有している。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

(A)感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて膜を形成することと、 (B)前記膜を露光することと、 (C)有機溶剤を含んだ現像液を用いて前記露光された膜を現像することと を含んだパターン形成方法であって、 前記組成物は、 (a)酸の作用により前記現像液に対する溶解度が減少する樹脂であって、酸素原子を含んだ基がエステル結合及び芳香環基の何れも含んでいない2価の連結基又は単結合を介して主鎖と結合している繰り返し単位を備え、前記樹脂に占める前記繰り返し単位の含有率は、前記樹脂中の全繰り返し単位に対して20mol%乃至100mol%の範囲内である樹脂と、 (b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、 (d)溶剤と を含有している方法。

IPC (5)：

G03F 7/038 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/30 ,  C08F 220/28

FI (6)：

G03F7/038 601 ,  H01L21/30 502R ,  G03F7/32 501 ,  G03F7/32 ,  G03F7/30 ,  C08F220/28

F-Term (99)：

2H096AA25 ,  2H096BA06 ,  2H096EA05 ,  2H096EA30 ,  2H096GA03 ,  2H096GA18 ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF20P ,  2H125AF21P ,  2H125AF26P ,  2H125AF33P ,  2H125AF36P ,  2H125AF38P ,  2H125AF39P ,  2H125AF45P ,  2H125AF70P ,  2H125AH04 ,  2H125AH05 ,  2H125AH12 ,  2H125AH14 ,  2H125AH15 ,  2H125AH16 ,  2H125AH19 ,  2H125AH22 ,  2H125AH24 ,  2H125AH25 ,  2H125AH29 ,  2H125AJ12X ,  2H125AJ12Y ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ14Y ,  2H125AJ16X ,  2H125AJ16Y ,  2H125AJ58X ,  2H125AJ64X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ65Y ,  2H125AJ66X ,  2H125AJ68X ,  2H125AJ68Y ,  2H125AJ75X ,  2H125AJ76X ,  2H125AJ78X ,  2H125AJ87Y ,  2H125AJ90Y ,  2H125AJ97Y ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AM09P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM27P ,  2H125AM32P ,  2H125AM43P ,  2H125AM86P ,  2H125AM99P ,  2H125AN36P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN45P ,  2H125AN54P ,  2H125AN57P ,  2H125AN62P ,  2H125AN65P ,  2H125AN67P ,  2H125AN82P ,  2H125AN86P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125BA33P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC01 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  2H125FA05 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL71P ,  4J100AR21S ,  4J100BA02P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03S ,  4J100BA11P ,  4J100BA15P ,  4J100BA16P ,  4J100BA40P ,  4J100BB18S ,  4J100BC04R ,  4J100BC08S ,  4J100BC09Q ,  4J100BC53P ,  4J100CA06 ,  4J100JA38