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J-GLOBAL ID:201103095908793808

混合ガスの分析装置及び混合ガスの分析方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 須田 篤 ,  楠 修二
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2009260883
Publication number (International publication number):2011106911
Application date: Nov. 16, 2009
Publication date: Jun. 02, 2011
Summary:
【課題】複数のガスが混じり合った混合ガスの分析装置及び分析方法を提供する。【解決手段】キャリアガス流量調節用第1バルブV1と、V1に配管接続して、測定ガス注入器と保持力が小さい第1分離カラムCL1と第1弾性表面波素子BS1と第1弾性表面波測定手段M1とからなる第1分析部と、第1分析部に配管接続し、接続切り替えが可能な第2のバルブV2と、更にV2に配管接続し、保持力が大きい第2分離カラムCL2と第2弾性表面波素子BS2と第2弾性表面波測定手段M2とからなる第2分析部とを有する。あらかじめV1を用いて流量を調節したキャリアガスの一部を、CL1における保持時間が短い混合ガスの遅延時間と振幅変化とをM1によりBS1で測定した信号に基づいて、CL1を通過させずに直接CL2に導入し、かつ、CL1での保持時間が長い混合ガスがCL2に導入しないようにV2のバルブを切り替える。【選択図】図1
Claim (excerpt):
複数のガスの混合ガスの分析装置において、 キャリアガス流量調節用第1バルブ(V1)と、 前記キャリアガス流量調節用第1バルブに配管接続して、測定ガス注入器と保持力が小さい第1分離カラム(CL1)と第1弾性表面波素子(BS1)と第1弾性表面波測定手段(M1)とからなる第1分析部と、 前記第1分析部に配管接続し、接続切り替えが可能な第2のバルブ(V2)と、 更に前記第2のバルブに配管接続し、保持力が大きい第2分離カラム(CL2)と第2弾性表面波素子(BS2)と第2弾性表面波測定手段(M2)とからなる第2分析部とを、 有することを特徴とする混合ガスの分析装置。
IPC (2):
G01N 29/02 ,  G01N 30/02
FI (2):
G01N29/02 ,  G01N30/02 A
F-Term (4):
2G047AA01 ,  2G047BC03 ,  2G047BC14 ,  2G047CB03
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 呼気分析方法及び装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平5-166167   Applicant:植田秀雄
  • 特開平4-273060
  • 特開平2-120661
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