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J-GLOBAL ID：201103098714583690
イオンポンプ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
井島 藤治
, 鮫島 信重
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2009146192
Publication number (International publication number)：2011003425
Application date： Jun. 19, 2009
Publication date： Jan. 06, 2011
Summary：
【課題】本発明はイオンポンプに関し、漏れ磁場の影響を受け難く、排気速度を向上させ、また残留ガスのイオン化を促進することができるイオンポンプを提供することを目的としている。【解決手段】その一端に真空室と接続するためのフランジ14が、他端に電極導入端子21が取り付けられた円筒状のポンプチェンバ10と、該ポンプチェンバ10の内部中央に配置され、その一端が前記電極導入端子21を介して高電圧と接続される金属棒13と、前記ポンプチェンバ10の外周面に間隔を空けてリング状にかつ表面磁極の方向が同じになるように取り付けられたリング状磁石と、該リング状磁石の外側に巻回された磁性体ヨーク24とを具備して構成される。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
その一端に真空室と接続するためのフランジが、他端に電極導入端子が取り付けられた円筒状のポンプチェンバと、
該ポンプチェンバの内部中央に配置され、その一端が前記電極導入端子を介して高電圧と接続される金属棒と、
前記ポンプチェンバの外周面に間隔を空けてリング状にかつ表面磁極の方向が同じになるように取り付けられたリング状磁石と、
該リング状磁石の外側に巻回された磁性体ヨークと、
を具備して構成されるイオンポンプ。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (2)：
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