Rsrc
J-GLOBAL ID:201110006375326409   Research Resource code:1000001704 Update date:Nov. 30, 2002

Rapid Thermal Anealer

卓上型ランプ加熱装置
Owning Organization:
Contact: Munecazu Tacano
Resource classification: Research resource, Research sample, Prototype, etc
Research area  (1): Electron/electric material engineering
Overview:
卓上型ランプ加熱装置 主要目的:半導体デバイス工程のひとつであるアロイ工程を行うための装置
User environment and conditions:
研究業務の遂行に支障のない事
User procedures and method:
詳細は,担当者まで問い合わせること

Return to Previous Page