Rsrc
J-GLOBAL ID:201110012998464004   Research Resource code:5000000886 Update date:Mar. 30, 2007

IC試作・測定装置

IC試作・測定装置
Owning Organization:
Contact: ANDO Hideyuki
Resource classification: Others
Research area  (4): Intelligent mechanics/mechanical system ,  Electronic device/electronic equipment ,  System engineering ,  Control engineering
Overview:
IC試作・測定装置
主要目的:IC(集積回路)の試作及び特性の測定のための装置
機器の内容:電気炉、スパッタ装置、スピンコータ、
マスクアライナ、ドラフトチャンバー、電子顕微鏡、
スクライバー、ワイヤーボンダー、パラメータアナライザー、
インピーダンスゲインフェーズアナライザ、他
User environment and conditions:
研究業務の遂行に支障のないこと
User procedures and method:
・利用手続き 詳細は、問い合わせること
・利用料金 有料

Return to Previous Page