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J-GLOBAL ID：201110012998464004
Research Resource code：5000000886
Update date：Mar. 30, 2007
IC試作・測定装置
IC試作・測定装置
Owning Organization：
Contact：
ANDO Hideyuki
Resource classification：
Others
Research area (4)：
Intelligent mechanics/mechanical system
, Electronic device/electronic equipment
, System engineering
, Control engineering
Overview：
IC試作・測定装置
主要目的:IC(集積回路)の試作及び特性の測定のための装置
機器の内容:電気炉、スパッタ装置、スピンコータ、
マスクアライナ、ドラフトチャンバー、電子顕微鏡、
スクライバー、ワイヤーボンダー、パラメータアナライザー、
インピーダンスゲインフェーズアナライザ、他
User environment and conditions：
研究業務の遂行に支障のないこと
User procedures and method：
・利用手続き 詳細は、問い合わせること
・利用料金 有料
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