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J-GLOBAL ID:201110028922267912   Research Resource code:5000001693 Update date:Apr. 22, 2008

Electron and Focused Ion Beam Irradiation System

荷電粒子軌道制御装置EFIB-2000S
Owning Organization:
Contact: KIMOTO Tsunenobu
Resource classification: Experience equipment, Facilities, etc
Research area  (1): Thin film and surface interface physical properties
Overview:
液体金属イオン源から発生させた荷電粒子である金属イオンを収束
ビームにして固体表面に照射する実験装置
User environment and conditions:
クリーンルームクラスに設置されている。マイクロホトニクス実験設備と組み合わせて使うことで性能が発揮される。
User procedures and method:
装置担当者およびマイクロホトニクス実験室研究者と打ち合わせを
行う。電子物性工学専攻で遂行している研究活動および教育活動に
支障のないことが確認され、共同研究体制を確立すれば利用できます。

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