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J-GLOBAL ID:201110037511696382   Research Resource code:1000001701 Update date:Nov. 30, 2002

Surface Profiler

表面あらさ測定装置
Owning Organization:
Contact: Munecazu Tacano
Resource classification: Research resource, Research sample, Prototype, etc
Research area  (1): Electron/electric material engineering
Overview:
表面あらさ測定装置 主要目的:半導体デバイス測定工程(エッチング,蒸着等)により生じる半導体表面の段差を測定するための装置
User environment and conditions:
研究業務の遂行に支障のない事
User procedures and method:
詳細は,担当者まで問い合わせること

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